Измерители поверхностного и удельного сопротивления

Измерители поверхностного и удельного сопротивления

При производстве изделий микроэлектроники и при создании полупроводниковых приборов, очень часто используется процесс напыления тонких пленок и у оператора возникает необходимость проверки нанесения слоя. Наша компания предлагает настольные измерители поверхностного и удельного сопротивления, как с ручным управлением, так и с автоматическим с функции mapping. 

Измеритель поверхностного сопротивления пластин с ручным манипулятором

Установка измерения сопротивления четырехзондовым методом

Измерительная система ВИК-УЭС с возможностью перемещения зондовой головы по Z, позволяет работать как со слитками полупроводников, так и с пластинами с нанесенным полупроводниковым слоем. Измеритель поверхностного сопротивления модели ВИК-УЭС работает практически со всеми размерами образцов: 60х48, 50х50 мм, ∅ 100 мм, ∅ 150 мм, ∅ 200 мм, ∅ 300 мм. Измерение удельного поверхностного сопротивления образца происходит с помощью четырехзондового метода (4 probe station). Подробнее об установке по ссылке.   

Автоматический измеритель поверхностного сопротивления пластин с автоматическим манипулятором

Установка измерения сопротивления металлов четырехзондовым методом

Измерительная система ВИК-УЭС с возможностью автоматического перемещения зондовой головы по Z, позволяет работать как со слитками полупроводников, так и с пластинами с нанесенным полупроводниковым слоем. В комплект входит компьютер с программным обеспечением. Программное обеспечение установки позволяет проводить в автоматическом режиме: проверку точности и работоспособности электрической части установки с помощью аналоговой схемы. Подробнее о системе по ссылке.   

Прибор четырехзондового измерения поверхностного сопротивления

Прибор четырехзондового измерения поверхностного сопротивления

Предлагаем рассмотреть настольный прибор четырехзондового измерения поверхностного сопротивления модели УЭС. Прибор состоит из стенда для крепления четырехточечного датчика для пластин диаметром до 4 дюймов. Прибор имеет рукоятку для 4-точечного зонда с 4-точечной головкой зонда для ручного зондирования, а также может быть оснащен дополнительным программным обеспечением. Измеренные данные отображаются в интерактивном режиме и сохраняются в различных форматах. Подробнее об установке по ссылке.   

Установка четырехзондового измерения

Установка четырехзондового измерения

Рады предложить установку четырехзондового измерения различных показателей на пластине модели FRP 60. Установка измерения имеет в своем составе программное обеспечение, где учитывается геометрия и толщина образца пользователя для измерения сопротивления [Ом], поверхностного сопротивления [Ом / □], объемного удельного сопротивления [Ом-см] и проводимости [Сименс / см]. Установка имеет настольное исполнение и не занимает много рабочего места. Подробнее о системе по ссылке.   

Прибор четырехзондового измерения сопротивления

Прибор четырехзондового измерения сопротивления

Предлагаем рассмотреть прибор четырехзондового измерения сопротивления модели PFRP 160. Равномерность выполнения нескольких операций — после того, как давление под датчиком можно точно настроить в режиме онлайн, фиксируется нижняя точка давления; последовательная работа с несколькими образцами, что сокращает количество ошибок, связанных с человеческим фактором. Экономия времени измерения — один контакт с объектом, который нужно измерить, автоматическое переключение для захвата данных каждой точки пластины. Подробнее об установке по ссылке.   

Прибор четырехзондового измерения

Прибор четырехзондового измерения

Рады предложить к рассмотрению прибор четырехзондового измерения KTLFP 70. Удобство обслуживания — каждую 4-точечную головку зонда можно независимо вставлять и заменять, в зависимости от измерения. Подходит для различных размеров пластин и положений, так как каждую головку зонда можно установить в рабочее состояние или ожидания в зависимости от аппаратного и программного обеспечения, а положение каждой головки зонда можно зафиксировать перемещением. Подробнее о системе по ссылке.   

Прибор четырехзондового измерения поверхностного сопротивления пленок

Прибор четырехзондового измерения поверхностного сопротивления пленок

Предлагаем Вашему вниманию прибор четырехзондового измерения поверхностного сопротивления пленок модели KTFR 80. Подходит для пластин размером от 2 до 12 дюймов. Прибор может быть оснащен датчиком четырехточечной головкой для стандартных и индивидуальных диаметров пластин до 12 дюймов. Может быть изменено с учетом конструкции модуля положения обнаружения для достижения полного нажатия для завершения измерения поверхностного сопротивления. Подробнее об установке по ссылке.  

Измеритель поверхностного сопротивления

Измеритель поверхностного сопротивления

Предлагаем рассмотреть прибор четырехзондового измерения поверхностного сопротивления пленок модели FRP90 в настольном исполнении для исследовательских задач при анализе поверхности пластин как на производстве, так и в лаборатории. Измеритель поверхностного сопротивления позволяет провести анализ металлизированной пластины и вывести результаты на компьютер. Прибор оснащен зондовой головкой, предметным столом и компьютером с программным обеспечением. Подробнее об установке по ссылке.   

Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом

Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом

Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модели FRP100 позволяет работать с пластинами различных диаметров. Измеритель оснащен зондом с ручным движением по оси Z. Измерения выполняются вручную в одной точке, путем опускания зонда на плоский образец. Измеритель имеет настольное исполнение и не занимает много рабочего места. Будет полезен для участков напыления на производстве или лаборатории при анализе поверхности полупроводниковых пластин. Подробнее об установке по ссылке.   

Измеритель поверхностного сопротивления пленок четырехзондовым методом

Измеритель поверхностного сопротивления пленок четырехзондовым методом

Рады предложить измеритель поверхностного сопротивления пленок четырехзондовым методом FRP40. Измеритель позволяет оценить качество пластин или созданных функциональных слоев для различных диаметров. Измеритель имеет предметный столик для размещения образцов  (пластины и подложки), а также для шайб. Измеритель имеет настольное исполнение и не занимает много рабочего места. У заказчиков имеется возможность оснастить измеритель различными зондовыми головками. Подробнее о системе по ссылке.