Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модели FRP100 позволяет работать с пластинами различных диаметров. Измеритель оснащен зондом с ручным движением по оси Z. Измерения выполняются вручную в одной точке, путем опускания зонда на плоский образец. Измеритель имеет настольное исполнение и не занимает много рабочего места. Будет полезен для участков напыления на производстве или лаборатории при анализе поверхности полупроводниковых пластин.
Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модели FRP100 применяется в различных областях промышленности. Прибор может быть полезен при измерении защитных пленок (полимерные, резистивные, металлические) и различного анализа полупроводниковых покрытий. Возможно измерение полупроводникового кремния в виде слитков, шайб и пластин, а также поверхностного электросопротивления эпитаксиальных, диффузионных и ионно-имплантированных слоев.
В базовой комплектации измеритель поверхностного сопротивления модели FRP100 оснащен ручной металлической стойкой с рукояткой опускания/поднятия, ручным столом, мультиметром, помехоустойчивым кабелем и одной зондовой головкой. Среди опциональных возможностей есть использование эталонных плат стандартного сопротивления с массивом прецизионных резисторов 1 Ом, 10 Ом, 100 Ом, 1 кОм, 10 кОм. Также возможна комплектация персональным компьютером с программным обеспечением. ПО позволяет сохранять и обрабатывать результаты измерений.
Для заказчиков доступен автоматизированный вариант измерителя поверхностного сопротивления модели FRP100. Данная система подходит для линий массового производства и позволяет делать онлайн-измерения качества покрытия после напыления или других процессов. После приема сигнала запуска внешней консоли выполняется полностью автоматическое пневматическое многоточечное измерение сопротивления, и консоль автоматически возвращается после завершения измерения.
Параметр |
Значение |
Размер образцов |
60х48 мм, квадратные и круглые до 300 мм |
Удельное сопротивление |
10,0х10-6 – 200,0х103 Ом·см |
Поверхностное сопротивление |
50,0 × 10-6 – 1,0 × 106 Ом/☐квадрат |
Опции |
четырехзондовые головки, мультиметр, автоматизированная линия, ПО |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.