Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модели FRP100 позволяет работать с пластинами различных диаметров. Измеритель оснащен зондом с ручным движением по оси Z. Измерения выполняются вручную в одной точке, путем опускания зонда на плоский образец. Измеритель имеет настольное исполнение и не занимает много рабочего места. Будет полезен для участков напыления на производстве или лаборатории при анализе поверхности полупроводниковых пластин.
Применение измерителя поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модели FRP100 применяется в различных областях промышленности. Прибор может быть полезен при измерении защитных пленок (полимерные, резистивные, металлические) и различного анализа полупроводниковых покрытий. Возможно измерение полупроводникового кремния в виде слитков, шайб и пластин, а также поверхностного электросопротивления эпитаксиальных, диффузионных и ионно-имплантированных слоев.
Опции измерителя поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
В базовой комплектации измеритель поверхностного сопротивления модели FRP100 оснащен ручной металлической стойкой с рукояткой опускания/поднятия, ручным столом, мультиметром, помехоустойчивым кабелем и одной зондовой головкой. Среди опциональных возможностей есть использование эталонных плат стандартного сопротивления с массивом прецизионных резисторов 1 Ом, 10 Ом, 100 Ом, 1 кОм, 10 кОм. Также возможна комплектация персональным компьютером с программным обеспечением. ПО позволяет сохранять и обрабатывать результаты измерений.
Автоматизированный вариант измерителя поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
Для заказчиков доступен автоматизированный вариант измерителя поверхностного сопротивления модели FRP100. Данная система подходит для линий массового производства и позволяет делать онлайн-измерения качества покрытия после напыления или других процессов. После приема сигнала запуска внешней консоли выполняется полностью автоматическое пневматическое многоточечное измерение сопротивления, и консоль автоматически возвращается после завершения измерения.
Технические характеристики измерителя поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
|
Параметр |
Значение |
|
Размер образцов |
60х48 мм, квадратные и круглые до 300 мм |
|
Удельное сопротивление |
10,0х10-6 – 200,0х103 Ом·см |
|
Поверхностное сопротивление |
50,0 × 10-6 – 1,0 × 106 Ом/☐квадрат |
| Опции |
четырехзондовые головки, мультиметр, автоматизированная линия, ПО |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.