Установка плазменной очистки Tucano

Установка плазменной очистки Tucano

Компания рада представить установку плазменной очистки Tucano. В отличие от остальной линейки установок очистки данная модель имеет важную особенность. Данная система плазменной очистки разрабатывалась для работы с агрессивными и фторсодержащими газами. Установка плазменной очистки Tucano RIE позволяет процесс травления, не требуя затрат на подключение и другого вспомогательного оборудования для данных процессов. 

Установка плазменной очистки Tucano

Основными отличиями являются:
Конфигурация RIE для травления
Большой HMI PLC дисплей размером 10”
Сеть автоматического соответствия
До 3 газовых линий также для фторированного газа
Лучшая равномерность подачи газа на основе двух канавок
Дополнительный турбонасос с клапаном для достижения низкого базового вакуума

Установка плазменного травления модели Tucano позволяет работать с большим количеством газов: Ar, O2, H2, He, CF4, SF6, Cl2, а также BCl3. Все элементы выполнены в антикоррозийном исполнении, для работы с агрессивными газами. Установка плазменной очистки подходит для травления фоторезиста, активации поверхности, очистку толстых резистивных слоев. Установка плазменной очистки может быть использована для обработки например полидиметилсилоксана, чтобы улучшить соединение со стеклом для создания микрофлюидного чипа. Установка поможет, когда планируется использование кислородной плазмы для активации поверхности с целью дальнейшего нанесения например гомогенных тонких пленок.

Технические характеристики установки плазменной очистки Tucano RIE:

Параметр 

Значение 

Объем камеры   Цилиндрическая Ø 153 мм, длина 324 мм  
Материал камеры  Алюминий без сварных швов  
Лоток для образцов   118 мм x 310 мм 
Генератор  200 Вт, 13,56 МГц 
Количество газовых линий  2 газовые линии 
Газы  Водород, кислород, азот, аргон, гелий, фторсодержащие и хлоросодержащие  
Габариты   450 x 430 x 270 мм 
Вес  26 кг  


Чтобы получить коммерческое предложение и купить установку плазменной очистки, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.