Настольная установка плазменной очистки поверхности

Настольная установка плазменной очистки поверхности Colibri

Рады предложить настольную систему плазменной очистки пластин и активации поверхности. Модель Colibri позволяет работать с пластинами 60х48 и подходит для производства СВЧ микросборок, НИОКР, мелкосерийных партий пластин. Данная установка плазменной очистки позволяет удалять жировые пленки, органические соединения и тем самым улучшать адгезию перед напылением металлов  и нанесением фоторезиста. 

Установка плазменной очистки

Особенности установки плазменной очистки поверхности

Удобный для пользователя интерфейс управления делает плазменную обработку поверхности простым и универсальным решением для небольших производств или R&D исследований. Габариты установки плазменной очистки (450 x 370 x 180 мм) позволяют установить её в практически любом месте, все что требуется это розетка и подвод газа. Настольная плазменная система, предназначена для очистки поверхности, ее модификации и активации. Система может работать с различными материалами, такими как металлы, пластик, керамика, бумага и другие. 

Установка плазменной очистки Colibri

Настольная установка плазменной обработки модели Colibri состоит из плазменного реактора, который содержит цилиндрическую технологическую камеру с двумя плоскими и параллельными электродами внутри, полностью выполненными из алюминия и без сварных швов. Верхний электрод RF смещен, а нижний электрод заземлен. полностью автоматизирован микроконтроллером. Стоит особо отметить две важные особенности настольной установки плазменной очистки Colibri, первое это клетка Фарадея, которая позволяет снимать статическое электричество при работе с приборами и элементами, тем самым минимизируя повреждение образцов. 

Настольная установка плазменной очистки поверхности

С помощью этой системы можно выполнять процедуры просто, выполняя один из рецептов, редактируемых пользователем. Единственная ручная манипуляция, которая должна быть выполнена — это этап загрузки / выгрузки пластин. В поставку установки плазменной очистки уже включен держатель для пластин, который позволяет разместить несколько партий, тем самым уменьшая время обработки на производстве.

Установка плазменной очистки пластин

Управление установки плазменной очистки поверхности

Удобный для пользователя интерфейс управления делает плазменную обработку поверхности простым и универсальным решением для небольших производств или R&D исследований. Габариты установки плазменной очистки (450 x 370 x 180 мм) позволяют установить её в практически любом месте, все что требуется это розетка и подвод газа. Настольная плазменная система, предназначена для очистки поверхности, ее модификации и активации. Система может работать с различными материалами, такими как металлы, пластик, керамика, бумага и другие. 

Настольная установка плазменной очистки Colibri

Особенности:
— Регулируемая мощность генератора плазмы
— Регулируемый поток газа
— Возможность обработки до девяти различных редактируемых рецептов
— Алюминиевая камера без сварных швов
— Портативный дизайн и малые габариты
— Встроенная клетка Фарадея
— Простое и понятное управление

Технологический газ вводится в технологическую камеру с помощью ручного клапана. Сигнал от генератора (50 кГц) подается на электроды внутри камеры и взаимодействуя с молекулами газа образовывает плазму. Сгенерированная плазма обеспечивает реактивные ионные частицы, которые воздействуют на верхний монослой поверхности подложки которая подлежит обработке. Процесс плазменной очистки может регулироваться параметрами, которые влияют на состояние плазмы (поток газа и мощность сигнала генератора). 

Характеристики настольной установки плазменной очистки поверхности

Параметр 

Значение 

Объем камеры:   2 литра, цилиндрическая Ø 102 мм, длина 256 мм  
Материал камеры  Алюминий без сварных швов  
Лоток для образцов   83 мм x 250 мм 
Генератор  200Вт, 50кГц 
Количество газовых линий  1 газовая линия 
Газы  Водород, кислород, азот, аргон  
Габариты   450 x 370 x 180 мм 
Вес  16 кг  


Чтобы получить коммерческое предложение и купить настольную установку плазменной очистки, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.