Напольная система плазменной очистки и травления

Напольная система плазменной очистки и травления Heron

Напольная система плазменной очистки и травления

Напольная установка плазменной очистки, травления пластин и удаления фоторезиста, удаления органических полимеров, изотропного удаления оксидов и нитридов кремния, а также очистка перед склеиванием и пайкой проволоки (как на контактных площадках, так и на чип-носителях). Позволяет производить очистку на атомном уровне металлических и керамических поверхностей после промышленной мойки для улучшения лакокрасочного покрытия или других типов покрытий (например, PVD). Возможность обрабатывать отдельные ячейки или партии (округлые или квадратные до 156 мм). Благодаря сенсорному дисплею у оператора есть возможность контролировать процесс плазменной очистки. В данной модели предусмотрена работа с тремя газами, как по отдельности, так и раздельно. Оборудование плазменной обработки модели Heron позволяет контролировать уровень мощности RF и настраивать в диапазоне от 1 до 600 Вт. Экран сенсорного экрана обеспечивает в режиме реального времени всю основную информацию для постоянного контроля процесса и быстрого анализа, а также возможность обработки до десяти различных редактируемых рецептов. Особенностью данной модели системы плазменной очистки является большой объем камеры (около 23 литров). Данные системы позволяют работать в среде четырех газов (азот, водород, кислород, аргон). Возможно исполнение систем плазменной очистки для работы с фторсодержащими газами (элегаз, тетрафторид углерода).

Особенности
— Регулируемая мощность генератора плазмы
— Регулируемый поток газа
— Возможность обработки до девяти различных редактируемых рецептов
— Алюминиевая камера без сварных швов

Технические характеристики напольной системы плазменной очистки и травления:

Параметр 

Значение 

Объем камеры   22,5 литра, Ø 343 мм, длина 280 мм 
Материал камеры  Алюминий без сварных швов  
Лоток для образцов   239 x 250 мм 
Генератор  600 Вт, 13,56 МГц 
Количество газовых линий  4 газовые линии 
Газы  Водород, кислород, азот, аргон  
Габариты   700 x 600 x 1750 мм 
Вес  130 кг  


Чтобы получить коммерческое предложение и купить напольную систему плазменной очистки и травления, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.