Система измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable

Система измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable 

FR-портативная система измерения толщины тонких пленок идеальное решение для НИОКР и анализа при мелкосерийном производстве. Позволяет провести анализ как однопленочных, так и многослойных структур. С помощью модели FR-портативной системы пользователь может выполнить измерения коэффициента отражения и пропускания для пленок в спектральном диапазоне от 370 до 1020 нм. Компактная конструкция системы измерения толщины пленок и оптических констант FR-pOrtable и специальный зонд отражения гарантируют высокую точность и повторяемость проводимых измерений. С помощью данного инструмента имеется возможность измерить толщину пленок от 12 нм до 90 микрон. Рефлектометр FR-pOrtable идеально подходит для изучения нитридных и оксидных пленок.

Система измерения толщины пленок FR pOrtable

Особенности системы измерения толщины тонких пленок

— Диапазон измерения толщины: от 12 нм до 90 мкм
— Расчет показателя преломления (n & k)
— Точность: 0,2% в 1 нм
— Широкий спектральный диапазон: 370 нм — 1020 нм
— Питание от USB
— Портативный дизайн и малые габариты
— Опции: Ручной стол с перемещением XY, для измерения пленок в нескольких точках, адаптер, модуль пропускания.

Применение системы измерения толщины тонких пленок

Для изготовления электронных структур и устройств применяется ряд технологических процессов, а также несколько пленок, состоящих из различных материалов, которые формируются в соответствии с требуемой компоновкой. Типичными материалами являются кремний Si (поли и монокристаллический и аморфный), диэлектрики оксиды, нитриды и др. (SiOx, SixNy, HfO2,….), фоторезисты, GaAs и другие. Инструменты FRимкют широкое применение и обеспечивают быстрое и точное измерение толщины пленки и показателя преломления одиночных или многослойных пленок в широком диапазоне толщин от 1 нм до 1 мм в зависимости от спектрального диапазона, поддерживаемого инструментом. Возможно измерение пленок различной структуры и природы: металлических, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, оптических и полимерных.

Рефлектометр купить

Опции системы измерения толщины тонких пленок

Стоит особо отметить ряд опций и дополнительных комплектующих при приобретении системы измерения пленок  модели FR-pOrtable. Система измерения пленок модели FR-pOrtable поставляется в противоударном кейсе и может быть разборной, что позволяет её транспортировать в различные подразделения. Первая опция, которую бы хотелось бы отметить это ручной стол с перемещением XY, который позволяет работать в различных точках. Данный стол удобен, так как измерение пленки на образце происходит без перемещения объекта исследования. Вторая опция — специальный модуль для измерения пропускания жидкостей и пленок. Модуль, который был предназначен для удовлетворения потребностей в измерении характеристике как жидкостей, так и твердых образцов (полупрозрачных и прозрачных образцов на подложке и без подложки (в подвешенном состоянии) пленок).

Система измерения толщины тонких пленок

Также на выбор представлены другие системы измерения тонких пленок, исходя из толщины слоев. Ниже показана таблица модельного ряда рефлектометров со спектральным диапазонами
Спектральные диапазоны измерения толщины пленок   

Технические характеристики системы измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable

Параметр

FR-pOrtable

Размер пластин

от 1 мм до 300 мм диаметром и более

Размер пятна

1-4 мм

Спектральный диапазон

370-1020 нм

Ресурс источника света

20 000 часов

Диапазон толщины¹

12 нм-90µм

Точность измерения толщины²

0,2 % в 1 нм

Рабочее расстояние

3-20 мм

Габариты*

300х110х40 мм

Вес

600 г

*— без предметного столика, 1 — в некоторых материалах минимальная толщина, которую можно измерить, составляет менее 10 нм (например, для Si3N4 составляет 6 нм), 2- измерения по сравнению с калиброванным спектроскопическим эллипсометром и рентгеновских дифрактометром

 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить систему измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.