Система измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable

Система измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable 

FR-портативная система измерения толщины тонких пленок идеальное решение для НИОКР и анализа при мелкосерийном производстве. Позволяет провести анализ как однопленочных, так и многослойных структур. С помощью модели FR-портативной системы пользователь может выполнить измерения коэффициента отражения и пропускания для пленок в спектральном диапазоне от 370 до 1020 нм. Компактная конструкция системы измерения толщины пленок и оптических констант FR-pOrtable и специальный зонд отражения гарантируют высокую точность и повторяемость проводимых измерений. С помощью данного инструмента имеется возможность измерить толщину пленок от 12 нм до 90 микрон. Рефлектометр FR-pOrtable идеально подходит для изучения нитридных и оксидных пленок.

Рефлектометр-для измерения тонких пленок

Особенности
— Диапазон измерения толщины: от 12 нм до 90 мкм
— Расчет показателя преломления (n & k)
— Точность: 0,2% в 1 нм
— Широкий спектральный диапазон: 370 нм — 1020 нм
— Питание от USB
— Портативный дизайн и малые габариты
— Опции: Ручной стол с перемещением XY, для измерения пленок в нескольких точках, адаптер, модуль пропускания.

Рефлектометр купить

Измерение пленок
— Металлических
— Полупроводниковых
— Резистивных
— Диэлектрических
— Оптических
— Полимерных
— Многослойных

Также на выбор представлены другие системы измерения тонких пленок, исходя из толщины слоев. Ниже показана таблица модельного ряда рефлектометров со спектральным диапазонами
Спектральные диапазоны измерения толщины пленок   

Технические характеристики системы измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable:

Параметр

FR-pOrtable

Размер пластин

от 1 мм до 300 мм диаметром и более

Размер пятна

1-4 мм

Спектральный диапазон

370-1020 нм

Ресурс источника света

20 000 часов

Диапазон толщины¹

12 нм-90µм

Точность измерения толщины²

0,2 % в 1 нм

Рабочее расстояние

3-20 мм

Габариты*

300х110х40 мм

Вес

600 г

*— без предметного столика, 1 — в некоторых материалах минимальная толщина, которую можно измерить, составляет менее 10 нм (например, для Si3N4 составляет 6 нм), 2- измерения по сравнению с калиброванным спектроскопическим эллипсометром и рентгеновских дифрактометром

 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить систему измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.