Рефлектометр для измерения толщины тонких пленок и оптических характеристик FR-Scanner

Рефлектометр для измерения толщины тонких пленок и оптических характеристик FR-Scanner

FR-Scanner — компактный настольный инструмент, подходящий для автоматического измерений тонких пленок и покрытий на больших подложках. FR-Scanner — идеальный инструмент для быстрого и точного сканирования пленок с точки зрения толщины, показателя преломления, однородности и т. д. Пластины любого диаметра / формы могут быть размещены на вакуумном держателе. Например, сканирование 8-дюймовой пластины Si в 625 точках занимает менее 60 секунд.

Конструкция рефлектометра для измерения толщины тонких пленок и оптических характеристик FR-Scanner

Оптическая голова имеет уникальную конструкцию и включает спектрометр, гибридный источник света и все другие оптические детали. В этой конструкции нет никаких гибких или движущихся волокон, и поэтому гарантируется отличная производительность с точки зрения точности, воспроизводимости и долговременной стабильности. Кроме того, специальная конструкция источника света обеспечивает чрезвычайно долгий срок службы и составляет 10000 часов.  

Рефлектометр для измерения толщины тонких пленок

Измерения рефлектометра толщины тонких пленок и оптических характеристик

Ниже показаны результаты измерений на рефлектометре FR-Scanner. На первом фото представлено картирование толщины пленки толстого отожженного диоксида кремния (TEOS), нанесенного на 4-дюймовую пластину кремния. На втором показано отображение толщины пленки поликристаллического слоя кремния, нанесенного на 8-дюймовую пластину кремния. На последнем изображении представлен толщина слоя фоторезиста SU-8 на 3-дюймовой пластине кремния.

Измерение толщины пленок

Из таблицы ниже можно посмотреть модельный ряд рефлектометров для измерения толщины тонких пленок и оптических характеристик FR-Scanner. Данный прибор для измерения оптических характеристик может работать с любыми формами пластин от маленьких квадратных до больших круглых 450 мм. Рефлектометр позволяет провести анализ большого количества пленок: оксидов, фоторезистов и композитов.

Технические характеристики рефлектометра для измерения толщины тонких пленок и оптических характеристик FR-Scanner

FR-Scaner VIS/NIR

FR-Scaner UV/VIS

FR-Scaner — XY UV/VIS/NIR*

Размер пластин

2-,3-,4-,6-,8-дюймовые круглые, прямоугольные, квадратные и неправильной формы¹

Разрешение по углу

0,1˚

0,1˚

0,1˚

Размер пятна

350µм

Спектральный диапазон²

350-1100 нм

200-850 нм

190-1100 нм*

Ресурс источника света

10000 часов

2000 часов

2000 часов

Диапазон толщины³

12 нм-90µм

1 нм-80µм

1 нм-100µм

Точность⁴

1 нм

<1нм

<1нм

Воспроизводимость⁵

0,06 нм

0,06 нм

0,06 нм

Мин. толщина при одновременном измерении толщины и показателя преломления

100 нм

Скорость сканирования⁷

625 изм/мин

625 изм/мин

60 изм/мин

Компьютер

USB 2.0/ USB 3.0 PC Windows 7/8/10 64 bit

Габариты⁸

485х457х500 мм

600х600х500 мм

Электропитание

110/230 В, 50-60 Гц, 300 Вт

Вес

40 кг

50 кг

60 кг

*может комбинироваться с различными источниками света и спектрометрами в спектральном диапазоне 190-1100 нм.

1 — держатель может вмещать образцы произвольной формы. Держатель для 300 мм и 450 мм пластин также предоставляется по запросу.

2 — другие конфигурации возможны по запросу.

3 — значение толщины на основе однослойной пленки SiO2 на подложке Si. Для других пленок / субстратов эти значения могут несколько отличаться.

4 — стандартное отклонение среднесуточного за 15 дней. Образец: 1 микрон SiO2 на пластине Si.

5 — измерения по сравнению с калиброванным спектроскопическим эллипсометром.

6 — зависит от материала.

7 — измерения основаны на 8-дюймовой пластине. Более высокая скорость сканирования более 1000 изм / мин возможна по специальному запросу.

8 — корпус на основе с электростатической порошковой покраской, наружные панели из нержавеющей стали.

 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить рефлектометр для измерения толщины тонких пленок, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.