Измеритель толщины тонких пленок и оптических коэффициентов FR-μProbe с микроскопом

Измеритель толщины тонких пленок и оптических коэффициентов FR-μProbe с микроскопом

FR-μProbe это настольный измеритель толщины тонких пленок для анализа слоев в различных режимах. Мощное программное обеспечение FR-Monitor® позволяет работать с данными и проводить измерения. Оно измеряет в режиме реального времени поглощение, коэффициент пропускания, коэффициент отражения или спектры флуоресценции и выполняет очень быстрые вычисления благодаря современным алгоритмам, реализованным в Visual C ++.  

Измеритель толщины тонких пленок купить

Конфигурации измерителя толщины тонких пленок и оптических коэффициентов

Возможно использование различных моделей микроскопов от мировых производителей. На фото указаны примеры измерителей толщины тонких пленок с микроскопами Leica и Zeiss. Имеется возможность установки камеры на микроскоп или оптоволоконного кабеля, что позволяет конфигурировать систему измерения пленок, исходя из задач пользователя.  

Измерение тонких пленок микроскопом

Программное обеспечение измерителя толщины тонких пленок и оптических коэффициентов

Программное обеспечение FR-Monitor® используется для управления измерителя толщины пленки и обработки спектральных измерений и предлагает уникальные возможности для широкого спектра применений и универсальности. В случае измерений отражения FR-Monitor программное обеспечение включает в себя алгоритм спектроскопии отражения белого света (WLRS) (ThetaMetrisisTM) для точного расчета толщины пленки (<10 нм до 100 мкм) и оптических констант (n & k) отдельно стоящих и подложки (поверх прозрачных или частично / полностью отражающих структур), состоящей из пленок (<10 слоев).   

Параметр 

FR-Mic UV/VIS 

FR-µProbe 

FR-Mic UV/NIR 

Спектральный диапазон 

200-850 нм 

370-1020 нм 

200-1700 нм 

Диапазон толщины¹ 

Объектив 5Х 

 

20 нм-70µм 

20 нм-120µм 

Объектив 10Х 

 

20 нм-50µм 

20 нм-90µм 

Объектив 15Х 

5 нм-20µм 

5 нм-60µм 

Объектив 20Х 

 

20 нм-20µм 

20 нм-40µм 

Объектив 50Х 

 

20 нм-10µм 

20 нм-20µм 

Минимальная толщина 

50 нм 

100 нм 

50 нм 

Точность измерения толщины² 

0,2 % в 1 нм 

0,2 % в 2 нм 

0,2 % в 2 нм 

Микроскоп 

 

Включен 

 

1 — в некоторых материалах минимальная толщина, которую можно измерить, составляет менее 10 нм (например, для Si3N4 составляет 6 нм). 

2 — измерения по сравнению с калиброванным спектроскопическим эллипсометром и рентгеновских дифрактометром 

 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить измеритель толщины тонких пленок и оптических коэффициентов FR-μProbe, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.