Установка плазменной очистки Tucano

Компания рада представить установку плазменной очистки Tucano. В отличие от остальной линейки установок очистки данная модель имеет важную особенность. Данная система плазменной очистки разрабатывалась для работы с агрессивными и фторсодержащими газами. Установка плазменной очистки Tucano RIE позволяет процесс травления, не требуя затрат на подключение и другого вспомогательного оборудования для данных процессов. 

Особенности установки плазменной очистки Tucano RIE

Основными отличиями являются:
Конфигурация RIE для травления
Большой HMI PLC дисплей размером 10”
Сеть автоматического соответствия
До 3 газовых линий также для фторированного газа
Лучшая равномерность подачи газа на основе двух канавок
Дополнительный турбонасос с клапаном для достижения низкого базового вакуума.

Внешний вид установки плазменного травления и очистки Tucano RIE

Внешний вид установки плазменного травления очистки выполнен в настольном исполнении. Установка имеет малые габариты и вес, что позволяет её устанавливать на любых участках производства и исследовательских центрах. Установка выполнена из специальных материалов, которые позволяют пользователю работать в агрессивной среде газов. 

Установка плазменного травления модели Tucano позволяет работать с большим количеством газов: Ar, O2, H2, He, CF4, SF6, Cl2, а также BCl3. Все элементы выполнены в антикоррозийном исполнении, для работы с агрессивными газами. Установка плазменной очистки подходит для травления фоторезиста, активации поверхности, очистку толстых резистивных слоев. Установка плазменной очистки может быть использована для обработки например полидиметилсилоксана, чтобы улучшить соединение со стеклом для создания микрофлюидного чипа. Установка поможет, когда планируется использование кислородной плазмы для активации поверхности с целью дальнейшего нанесения например гомогенных тонких пленок.

Технические характеристики установки плазменной очистки Tucano RIE

Чтобы получить коммерческое предложение и купить установку плазменной очистки, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.