Настольное оборудование плазменной обработки пластин и активации поверхности модели Tucano подходит для работы в мелкосерийном производстве и лаборатории. Её отличает большой объем камеры, в отличие от модели Colibri, а также мощный высокочастотный генератор частотой 13,56 МГц. Модель настольного оборудования плазменной обработки названа по названию птицы тукан, которая имеет большой клюв, также и система очистки имеет объемную камеру.
Благодаря сенсорному дисплею у оператора есть возможность контролировать процесс плазменной очистки. В данной модели предусмотрена работа с двумя газами, как по отдельности, так и раздельно. Имеется встроенная клетка Фарадея, которая позволяет производить плазменную очистку пластин с элементами, подверженные статическому электричеству. Также как и в модели Colibri, исходя из задач имеется возможность подбора генератора нужной мощности и частоты.
Оборудование плазменной обработки хорошо себя зарекомендовали при магнетронном напылении резистивных и проводящих слоёв на подложки; при ультразвуковой, термозвуковой и контактной сварки проволочных и ленточных выводов; при монтаже кристаллов на клей или методом пайки.
Оборудование плазменной обработки может применяться также в области оптоэлектроники, биомедицине, производстве пластиков и автомобилестроении. Широкое применение оборудование плазменной очистки получило при производстве электронных приборов, микросборок и печатных плат.
С помощью настольного оборудования плазменной обработки Tucano можно выполнять процедуры просто, выполняя один из рецептов, редактируемых пользователем. Технологический газ вводится в технологическую камеру с помощью ручного клапана. Сигнал от генератора (13,56 МГц) подается на электроды внутри камеры и взаимодействуя с молекулами газа образовывает плазму. Данное оборудование плазменной обработки подходит при производстве металлостеклянных и металлокерамических корпусов; СВЧ гибридных интегральных структур; электронных компонентов; термоэлектрических модулей; кварцевых резонаторов, генераторов и фильтров.
Параметр |
Значение |
Объем камеры | Цилиндрическая Ø 153 мм, длина 324 мм |
Материал камеры | Алюминий без сварных швов |
Лоток для образцов | 118 мм x 310 мм |
Генератор | 200 Вт, 13,56 МГц |
Количество газовых линий | 2 газовые линии |
Газы | Водород, кислород, азот, аргон |
Габариты | 450 x 430 x 270 мм |
Вес | 26 кг |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить оборудование плазменной обработки, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.