Напольная система плазменной очистки и травления Heron

Представляем Вашему вниманию напольную установку плазменной очистки, травления пластин и удаления фоторезиста модели Heron. Благодаря сенсорному дисплею у оператора есть возможность контролировать процесс плазменной очистки. В данной модели предусмотрена работа с тремя газами, как по отдельности, так и раздельно. Оборудование плазменной обработки модели Heron позволяет контролировать уровень мощности RF и настраивать в диапазоне от 1 до 600 Вт. Экран сенсорного экрана обеспечивает в режиме реального времени всю основную информацию для постоянного контроля процесса и быстрого анализа, а также возможность обработки до десяти различных редактируемых рецептов. 

Особенностью данной модели системы плазменной очистки является большой объем камеры (около 23 литров). Данные системы позволяют работать в среде четырех газов (азот, водород, кислород, аргон). Возможно исполнение систем плазменной очистки для работы с фторсодержащими газами (элегаз, тетрафторид углерода).

Ниже показаны графики изменение контактного угла поверхности PDMS в зависимости от времени для разных значений давления. Также показаны микрофотографии капли до и после воздушной плазменной обработки. На крайнем изображении представлена зависимость изменения угла контакта в зависимости от времени обработки плазмой на поверхности ПЭТ.

Особенности
— Регулируемая мощность генератора плазмы
— Регулируемый поток газа
— Возможность обработки до девяти различных редактируемых рецептов
— Алюминиевая камера без сварных швов

Технические характеристики напольной системы плазменной очистки и травления:

Чтобы получить коммерческое предложение и купить напольную систему плазменной очистки и травления, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.