Установка очистки и сушки пластин XWS-602D-150

Для полупроводниковых пластин диаметром 150 мм (6 дюймов) доступны однокамерные и двухкамерные установки SRD. Двухкамерные конфигурации, например, XWS-602D-150, часто совмещают обработку 150 мм пластин в одной камере и 100 мм пластин в другой. Существуют также специализированные однокамерные решения, такие как XWS-602-150, представляющие собой программируемые установки с фронтальной загрузкой для одной кассеты. 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить установку очистки и сушки пластин XWS-602D-150, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.