Система измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable 

FR-портативная система измерения толщины тонких пленок идеальное решение для НИОКР и анализа при мелкосерийном производстве. Позволяет провести анализ как однопленочных, так и многослойных структур. С помощью модели FR-портативной системы пользователь может выполнить измерения коэффициента отражения и пропускания для пленок в спектральном диапазоне от 370 до 1020 нм. Компактная конструкция системы измерения толщины пленок и оптических констант FR-pOrtable и специальный зонд отражения гарантируют высокую точность и повторяемость проводимых измерений. С помощью данного инструмента имеется возможность измерить толщину пленок от 12 нм до 90 микрон. Рефлектометр FR-pOrtable идеально подходит для изучения нитридных и оксидных пленок.

Особенности системы измерения толщины тонких пленок

— Диапазон измерения толщины: от 12 нм до 90 мкм
— Расчет показателя преломления (n & k)
— Точность: 0,2% в 1 нм
— Широкий спектральный диапазон: 370 нм — 1020 нм
— Питание от USB
— Портативный дизайн и малые габариты
— Опции: Ручной стол с перемещением XY, для измерения пленок в нескольких точках, адаптер, модуль пропускания.

Применение системы измерения толщины тонких пленок

Для изготовления электронных структур и устройств применяется ряд технологических процессов, а также несколько пленок, состоящих из различных материалов, которые формируются в соответствии с требуемой компоновкой. Типичными материалами являются кремний Si (поли и монокристаллический и аморфный), диэлектрики оксиды, нитриды и др. (SiOx, SixNy, HfO2,….), фоторезисты, GaAs и другие. Инструменты FRимкют широкое применение и обеспечивают быстрое и точное измерение толщины пленки и показателя преломления одиночных или многослойных пленок в широком диапазоне толщин от 1 нм до 1 мм в зависимости от спектрального диапазона, поддерживаемого инструментом. Возможно измерение пленок различной структуры и природы: металлических, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, оптических и полимерных.

Опции системы измерения толщины тонких пленок

Стоит особо отметить ряд опций и дополнительных комплектующих при приобретении системы измерения пленок  модели FR-pOrtable. Система измерения пленок модели FR-pOrtable поставляется в противоударном кейсе и может быть разборной, что позволяет её транспортировать в различные подразделения. Первая опция, которую бы хотелось бы отметить это ручной стол с перемещением XY, который позволяет работать в различных точках. Данный стол удобен, так как измерение пленки на образце происходит без перемещения объекта исследования. Вторая опция — специальный модуль для измерения пропускания жидкостей и пленок. Модуль, который был предназначен для удовлетворения потребностей в измерении характеристике как жидкостей, так и твердых образцов (полупрозрачных и прозрачных образцов на подложке и без подложки (в подвешенном состоянии) пленок).

Также на выбор представлены другие системы измерения тонких пленок, исходя из толщины слоев. Ниже показана таблица модельного ряда рефлектометров со спектральным диапазонами
   

Тех. характеристики системы измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable:

Чтобы получить коммерческое предложение и систему измерения толщины тонких пленок и оптических констант FR-pOrtable, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.