Рады предложить рефлектометр для измерения толщины модели FR-Scanner. Рефлектометры могут использоваться для измерения толщины различных плёнок, включая металлические, диэлектрические и полупроводниковые. Они также могут быть использованы для измерения оптических характеристик материалов, таких как коэффициент преломления и коэффициент поглощения света.
Оптическая голова имеет уникальную конструкцию и включает спектрометр, гибридный источник света и все другие оптические детали. В этой конструкции нет никаких гибких или движущихся волокон, и поэтому гарантируется отличная производительность с точки зрения точности, воспроизводимости и долговременной стабильности. Кроме того, специальная конструкция источника света обеспечивает чрезвычайно долгий срок службы и составляет 10000 часов.
Ниже показаны результаты измерений на рефлектометре FR-Scanner. На первом фото представлено картирование толщины пленки толстого отожженного диоксида кремния (TEOS), нанесенного на 4-дюймовую пластину кремния. На втором показано отображение толщины пленки поликристаллического слоя кремния, нанесенного на 8-дюймовую пластину кремния. На последнем изображении представлен толщина слоя фоторезиста SU-8 на 3-дюймовой пластине кремния.
Из таблицы ниже можно посмотреть модельный ряд рефлектометров для измерения толщины тонких пленок и оптических характеристик FR-Scanner. Данный прибор для измерения оптических характеристик может работать с любыми формами пластин от маленьких квадратных до больших круглых 450 мм. Рефлектометр позволяет провести анализ большого количества пленок: оксидов, фоторезистов и композитов.
|
FR-Scaner VIS/NIR |
FR-Scaner UV/VIS |
FR-Scaner — XY UV/VIS/NIR* |
Размер пластин |
2-,3-,4-,6-,8-дюймовые круглые, прямоугольные, квадратные и неправильной формы¹ |
||
Разрешение по углу |
0,1˚ |
0,1˚ |
0,1˚ |
Размер пятна |
350µм |
||
Спектральный диапазон² |
350-1100 нм |
200-850 нм |
190-1100 нм* |
Ресурс источника света |
10000 часов |
2000 часов |
2000 часов |
Диапазон толщины³ |
12 нм-90µм |
1 нм-80µм |
1 нм-100µм |
Точность⁴ |
1 нм |
<1нм |
<1нм |
Воспроизводимость⁵ |
0,06 нм |
0,06 нм |
0,06 нм |
Мин. толщина при одновременном измерении толщины и показателя преломления⁶ |
100 нм |
||
Скорость сканирования⁷ |
625 изм/мин |
625 изм/мин |
60 изм/мин |
Компьютер |
USB 2.0/ USB 3.0 PC Windows 7/8/10 64 bit |
||
Габариты⁸ |
485х457х500 мм |
600х600х500 мм |
|
Электропитание |
110/230 В, 50-60 Гц, 300 Вт |
||
Вес |
40 кг |
50 кг |
60 кг |
*— может комбинироваться с различными источниками света и спектрометрами в спектральном диапазоне 190-1100 нм. 1 — держатель может вмещать образцы произвольной формы. Держатель для 300 мм и 450 мм пластин также предоставляется по запросу. 2 — другие конфигурации возможны по запросу. 3 — значение толщины на основе однослойной пленки SiO2 на подложке Si. Для других пленок / субстратов эти значения могут несколько отличаться. 4 — стандартное отклонение среднесуточного за 15 дней. Образец: 1 микрон SiO2 на пластине Si. 5 — измерения по сравнению с калиброванным спектроскопическим эллипсометром. 6 — зависит от материала. 7 — измерения основаны на 8-дюймовой пластине. Более высокая скорость сканирования более 1000 изм / мин возможна по специальному запросу. 8 — корпус на основе с электростатической порошковой покраской, наружные панели из нержавеющей стали. |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить рефлектометр для измерения толщины тонких пленок, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.