Измеритель толщины тонких пленок и оптических коэффициентов FR μProbe с микроскопом
FR-μProbe это настольный измеритель толщины тонких пленок для анализа слоев в различных режимах. Мощное программное обеспечение FR-Monitor® позволяет работать с данными и проводить измерения. Оно измеряет в режиме реального времени поглощение, коэффициент пропускания, коэффициент отражения или спектры флуоресценции и выполняет очень быстрые вычисления благодаря современным алгоритмам, реализованным в Visual C ++.
Внешний вид измерителя тонких пленок и оптических коэффициентов FR μProbe с микроскопом
Ниже показаны фото различных конфигураций измерителя тонких пленок модели FR-μProbe с микроскопами Leica и ZEISS. Благодаря микроскопу измерение различных поверхностей проходит при оптическом контроле и визуализации. Программное обеспечение позволяет обрабатывать результаты и моделировать изображения образцов и поверхностей.
Конфигурации измерителя толщины тонких пленок и оптических коэффициентов
Возможно использование различных моделей микроскопов от мировых производителей. На фото указаны примеры измерителей толщины тонких пленок с микроскопами Leica и Zeiss. Имеется возможность установки камеры на микроскоп или оптоволоконного кабеля, что позволяет конфигурировать систему измерения пленок, исходя из задач пользователя.
Программное обеспечение измерителя толщины тонких пленок и оптических коэффициентов
Программное обеспечение FR-Monitor® используется для управления измерителя толщины пленки и обработки спектральных измерений и предлагает уникальные возможности для широкого спектра применений и универсальности. В случае измерений отражения FR-Monitor программное обеспечение включает в себя алгоритм спектроскопии отражения белого света (WLRS) (ThetaMetrisisTM) для точного расчета толщины пленки (<10 нм до 100 мкм) и оптических констант (n & k) отдельно стоящих и подложки (поверх прозрачных или частично / полностью отражающих структур), состоящей из пленок (<10 слоев).
|
Параметр |
FR-Mic UV/VIS |
FR-µProbe |
FR-Mic UV/NIR |
|
|
Спектральный диапазон |
200-850 нм |
370-1020 нм |
200-1700 нм |
|
| Диапазон толщины¹ |
Объектив 5Х |
— |
20 нм-70µм |
20 нм-120µм |
|
Объектив 10Х |
— |
20 нм-50µм |
20 нм-90µм |
|
|
Объектив 15Х |
5 нм-20µм |
|
5 нм-60µм |
|
|
Объектив 20Х |
— |
20 нм-20µм |
20 нм-40µм |
|
|
Объектив 50Х |
— |
20 нм-10µм |
20 нм-20µм |
|
| Минимальная толщина |
50 нм |
100 нм |
50 нм |
|
| Точность измерения толщины² |
0,2 % в 1 нм |
0,2 % в 2 нм |
0,2 % в 2 нм |
|
|
Микроскоп |
— |
Включен |
— |
|
|
1 — в некоторых материалах минимальная толщина, которую можно измерить, составляет менее 10 нм (например, для Si3N4 составляет 6 нм). 2 — измерения по сравнению с калиброванным спектроскопическим эллипсометром и рентгеновских дифрактометром |
||||
Чтобы получить коммерческое предложение и купить измеритель толщины тонких пленок и оптических коэффициентов FR-μProbe, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.