Установка безмасковой литографии создана для работы на пластинах 100 мм. Система лазерной литографии позволяет работать без фотошаблона и была специально разработана для исследовательских центров и мелкосерийных производств. Эргономичный дизайн и настольное исполнение позволяет её внедрить в любое производство на участки литографии и цеха микросборок. Пользователи по всему миру уже по достоинству оценили данную систему и произвели продукцию высокого уровня.
Ниже показаны проэкспонированые образцы на фоторезистах серии SU8 и AZ® 1500 на установке безмасковой литографии модели SmartPrint Standart. Она позволяет работать как микронном, так и нанометровом диапазоне. Система безмасковой литографии позволяет работать с 76, 100 миллиметровыми пластинами и подложками размерами 60 х 48. Система лазерной литографии имеет настольное исполнение и имеется возможность установки в лаборатории и небольшие производства.
Программное обеспечение позволяет реализовать литографию и контролировать процесс, задавая нужные параметры и требования. Пунктами ниже показаны основные характеристики системы лазерной литографии. Система литографии позволяет сохранять изображения и данные в известных форматах и разрешениях. Благодаря моторизованному предметному столику у пользователя появляется возможность задать параметры процесса и контролировать литографию.
Параметр |
Значение |
Минимальный размер |
1,5 микрон |
Размер пластины |
Максимальный диаметр 100 мм |
Источник света |
Светодиод с длиной волны 385 нм |
Питание |
1 фаза, 100-240В, до 1,5кВт |
Размер экспонируемой области |
70 мм × 70 мм |
Скорость письма |
77 мм²/мин |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить установку безмасковой литографии, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.