Установка безмасковой литографии SmartPrint UV Advanced

Установка безмасковой литографии SmartPrint UV Advanced

Предлагаем рассмотреть настольную установку безмасковой литографии модели SmartPrint UV — это оборудование для литографии без использования фотошаблона, основанное на проекционной технологии DMD, совместимое с широким спектром резистов и подложек. SmartPrint UV может создавать любые 2D-формы с микронным разрешением без необходимости использования маски и фотошаблона. Установка безмасковой литографии может работать и создавать топологию на пластинах до 5 дюймов.

Установка безмасковой литографии SmartPrint UV Advanced

Особенности установки безмасковой литографии

Ниже показаны проэкспонированые образцы на фоторезистах серии SU8 и AZ® 1500 на установке безмасковой литографии модели SmartPrint Standart. Она позволяет работать как микронном, так и нанометровом диапазоне. Система безмасковой литографии позволяет работать с 76, 100 миллиметровыми и 5 дюймовыми пластинами и подложками размерами 60 х 48. Система лазерной литографии имеет настольное исполнение и имеется возможность установки в лаборатории и небольшие производства.  

Примеры микроструктур безмасковой литографии

Программное обеспечение установки безмасковой лазерной литографии

Программное обеспечение позволяет реализовать литографию и контролировать процесс, задавая нужные параметры и требования. Пунктами ниже показаны основные характеристики системы лазерной литографии. Система литографии позволяет сохранять изображения и данные в известных форматах и разрешениях. Благодаря моторизованному предметному столику у пользователя появляется возможность задать параметры процесса и контролировать литографию.

Параметр 

Значение 

Минимальный размер 

1,5 микрон 

Размер пластины 

Максимальный диаметр 127 мм 

Источник света 

Светодиод с длиной волны 385 нм 

Питание 

1 фаза, 100-240В, до 1,5кВт 

Размер экспонируемой области 

110 мм × 110 мм 

Скорость письма 

220 мм²/мин 

 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить установку безмасковой литографии, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.