Настольная диффузионная печь

Настольная диффузионная печь PEO 601

Компания МИВАТЭК рада предложить настольную диффузионную печь модели PEO 601. Печь имеет настольное и напольное (на колесной стойке) исполнение, и может встраиваться в чистое помещение класса до ISO 5/6 за счет возможности монтирования лицевой панели в стену чистой комнаты. Настольная диффузионная установка может комплектоваться сменными кварцевыми реакторами-вставками (колбы) для быстрого перехода от процесса к процессу.

Настольная диффузионная печь

Настольная печь модели PEO-601 это удобное оборудование для лабораторного и мелкосерийного производства, обеспечивающее диапазон температур и сред для большого количества процессов полупроводникового и сборочного производства. Диффузионная печь предназначена для работы с подложками и пластинами диаметром до 100 мм, которая может использоваться для процессов отжига (включая отжиг в среде водорода Н2), окисления, LPCVD (химическое осаждение из газовой фазы), диффузии, вжигания и спекания в среде вакуума и под избыточным давлением до 2 бар в восстановительной, нейтральной или окислительной среде при температурах до 1100 градусов Цельсия.
Настольная диффузионная печь купить

Применение настольных печей модели PEO-601 имеет большое и широкое применение и они могут использоваться в различных процессах. Можно выделить такие распространенные процессы, помимо диффузии, которые может быть выполнены в настольной диффузионной установке: LPCVD (химическое осаждение из газовой фазы) – Poly-Si, LTO, TEOS, MOCVD, CNT, Si3N4; эпитаксиальное нанесение слоев; отжиг полупроводниковых материалов и керамики; пайка на припойную пасту и припои без флюса в инертной среде и вакууме с восстановлением в формир-газе или HCOOH; дубление клеевых составов, быстрое отверждение фоточувствительных компаундов.

Осаждение из газовой фазы

Чтобы получить коммерческое предложение и купить настольную диффузионную печь, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.