Диффузионная печь

Диффузионная печь PEO 603

В диффузионной печи серии PEO-603, которая имеет напольное исполнение возможно проведение несколько процессов: диффузия бора из твердых (планарных) источников в кремниевые пластины при температуре 1100 градусов Цельсия в потоке инертных газов (азот, аргон), окисление пластин в сухом и влажном кислороде, отжиг пластин в аргоне, кислороде  при температуре 700  градусов Цельсия. Имеется возможность подбора оснастки и источников диффузии под индивидуальные задачи заказчика с учетом специфики процесса и отжига. 

Диффузионная печь ATV

Применение диффузионной печи

Применение диффузионных печей модели PEO-603 имеет широкое применение в микроэлектроники и силовой электроники. Возможно использование печи в таких процессах как: оксиление сухое, влажное, термическое, VECSEL; диффузия примесей p / n; вжигание толстых пленок, спекание LTCC, высокотемпературная пайка в водороде; герметизация корпусов на AuSn эвтектику или стеклоспай; процессы с полиимидными слоями; Сплавы AuGe / SiAu, быстрая закалка.

Диффузионная печь

Чтобы получить коммерческое предложение и купить диффузионную печь, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.