Центрифуга для нанесения фоторезиста

Центрифуга для нанесения фоторезиста

Рады предложить центрифугу для нанесения фоторезиста и других тонких пленок. Известно, что метод центрифугирования оптимально подходит для нанесения фоторезистивных слоев и компаундов. Центрифуга имеет сенсорный цветной экран, на котором отражаются основные параметры процесса.

Центрифуга для нанесения фоторезиста

Комплектация центрифуги для нанесения фоторезиста

В комплекте к центрифуге нанесения фоторезиста идет прозрачная крышка, благодаря которой оператор может наблюдать за процессом нанесения. Нанесение фоторезиста может производится как в ручную, так и с помощью дозатора. В случае центрифуги для нанесения с дозатором, на крышке возможно изготовление отверстия для подачи фоторезиста. Петли на крышке центрифуги позволяют установить прочное крепление и минимизировать потери фоторезиста при проведении процесса нанесения. В чаше установлено специальное отверстие для слива фоторезиста позволяющее минимизировать потери.

Центрифуга для нанесения фоторезиста ASC 100

Комплектация центрифуги для нанесения фоторезиста с дозатором

Как говорилось ранее в случае центрифуги для нанесения с дозатором, на крышке возможно изготовление отверстия для подачи фоторезиста. На фото ниже показана комплектация центрифуги с дозатором, подача фоторезиста происходит с помощью перистальтического насоса от той же компании производителя. Насосы имеют цифровой дисплей позволяющий контролировать дозу и подачу фоторезиста на центрифугу. У пользователя имеется возможность выбора различных перистальтических насосов с разными режимами управления потоком фоторезиста.

Центрифуга для нанесения фоторезиста с дозатором

Особенности центрифуги для нанесения фоторезиста

Центрифуга для нанесения фоторезиста позволяет наносить слои на полупроводниковые пластины 100, 200 и 300 мм. Модельный ряд установок для нанесения фоторезиста имеет различные скорости вращения ротора с вакуумным держателем пластины от 20 до 12000 об/мин. Удобный и понятный интерфейс позволяет производить нанесение фоторезиста с заданными параметрами. Управление центрифугой для нанесения возможно с помощью специального контактной указки и позволяет не испортить экран фоторезистом.

Центрифуга для фоторезиста

В комплекте к центрифуге нанесения фоторезиста идет прозрачная крышка, благодаря которой оператор может наблюдать за процессом нанесения. Нанесение фоторезиста может производится как в ручную, так и с помощью дозатора. В случае центрифуги для нанесения с дозатором, на крышке возможно изготовление отверстия для подачи фоторезиста. Петли на крышке центрифуги позволяют установить прочное крепление и минимизировать потери фоторезиста при проведении процесса нанесения.

Модельный ряд центрифуг для нанесения фоторезиста

Модельный ряд центрифуг для нанесения фоторезиста серии ASC имеет три модели оборудования. Основные отличия между центрифугами это различные размеры пластин и скорость вращения. Центрифуги имеют прочный корпус и выполнены в различных конфигурациях, исходя из конструкции и задач. Для пользователя доступны модели центрифуг ASC 100, ASC 200 и ASC 300, которые могут работать с пластинами от 100 мм и выше, соответственно по цифре в наименовании.

Центрифуги для нанесения фоторезиста на пластины

Тех. характеристики центрифуги для нанесения фоторезиста:

Модель центрифуги

Скорость вращения

Рецепты и шаги

Пластины

Габариты

ASC 100

от 100 до 12000 об/мин

10 шагов, 10 рецептов

6 дюймов, 150 мм

359х256х258 мм

ASC 200

от 20 до 10000 об/мин

100 шагов, 100 рецептов

8 дюймов, 200 мм

433х306х306 мм

ASC 300

от 0 до 5000 об/мин

12 дюймов, 300 мм

613х463х306 мм

Чтобы получить коммерческое предложение и купить центрифугу для нанесения фоторезиста, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.