Центрифуга для нанесения фоторезиста ASC 300

Центрифуга для нанесения фоторезиста ASC 300

Предлагаем рассмотреть настольную центрифугу для нанесения фоторезиста модели ASC 300 от тайваньской компании YOTEC Precision. Стоить особо отметить конструктивные особенности центрифуги, среди которых специальная крышка для автоматической подачи фоторезиста и других жидкостей. Настольная центрифуга может быть дополнительно оснащена перистальтическим насосом, благодаря которому можно дозировать подачу рабочего вещества, выбрав скорость и диаметр шланга. 

Центрифуга для нанесения фоторезиста asc 300

Особенности центрифуги для нанесения фоторезиста ASC 300

Можно выделить ряд особенностей центрифуги для нанесения покрытий модели ASC 300. Данные особенности связаны как с конструктивными факторами, так и с программой управления. Благодаря данным пунктам, работа на центрифуге проходит с минимальными потерями по времени и расходу материала. Также доступны опции, которые позволяют автоматизировать процесс литографии и облегчить работу.

Серводвигатель центрифуги для нанесения фоторезиста

Серводвигатель центрифуги для нанесения фоторезиста

Серводвигатель который позволяет создавать оптимальный крутящий момент, а также двигаться на высоких скоростях. Важно отметить то, что у данных моделей двигателей имеются такие плюсы как высокий КПД работы. С помощью данного двигателя работа на центрифуге происходить без шумно, что позволяет комфортно использовать оборудование. Также стоит отметить, что серводвигатели, использующиеся в центрифуге работают без резонанса, по сравнению с другими двигателями такого типа.

Табло с диаграммой процесса нанесения фоторезиста

График скорости нанесения фоторезиста

Табло с диаграммой процесса, которое позволяет производить мониторинг литографического процесса в режиме реального времени. На портативном мониторе указана зависимость скорости и времени в режиме онлайн. Также имеется возможность опции к центрифуге модели ASC 300 с выводом на компьютер этих данных. Благодаря этому, у оператора появляется возможность наблюдать за процессом литографии удаленно. На данном табло также указан включен ли вакуум и время процесса нанесения.

Дренажное отверстие для слива фоторезиста в центрифуге

Дренажное отверстие центрифуги для слива фоторезиста

Дренажное отверстие, позволяющее удалять остатки фоторезиста и других рабочих жидкостей и материалов. В комплект поставки включена тара и соединительный шланг. У оператора отпадает необходимость снятия чаши для мойки после процесса литографии. Остатки фоторезиста удаляются через дренажное отверстие в специальную емкость. Отводящий шланг крепится обжимным хомутом сзади и не мешает работе оператора во время нанесения фоторезиста или других тонких резистивных пленок.

Датчик открытия крышки и датчик вакуума

Датчик открытия и закрытия крышки центрифуги

Центрифуга для нанесения фоторезиста модели ASC 300 от компании YOTEC оснащена сенсорными датчиками, которые позволяю во время процесса литографии. Стоит отметить датчик вакуума, позволяющий видеть подключен ли вакуумной насос и зафиксирована ли пластина или подложка к держателю. Центрифуга также оснащена датчиком открытия и закрытия крышки. Сенсор показывает оператору литографии о том, что крышка плотно закрыта и попадание фоторезиста из чаши минимизировано.  

Тех. характеристики центрифуги для нанесения фоторезиста:

Модель центрифуги

Скорость вращения

Рецепты и шаги

Пластины

Габариты

ASC 300

от 0 до 5000 об/мин

100 шагов, 100 рецептов

12 дюймов, 300 мм

613х463х306 мм

Чтобы получить коммерческое предложение и купить центрифугу для нанесения фоторезиста asc 300, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.