Представляем для Вас расширенную версию SmarrtPrint UV с моторизованным столом для автоматизации процесса нанесения структуры на поверхность подложки или пластины. Установка безмасковой фотолитографии также может быть использована для производства фотошаблонов для контактной литографии. Программное обеспечение позволяет контролировать процесс сшивки изображения и просмотра структуры в режиме реального времени.
Установка оснащена современным программным обеспечение, позволяющим работать с большим количеством материалов и фоторезистов. Ниже показаны проэкспонированые образцы на фоторезистах серии SU8 и AZ® 1500. Установка литографии позволяет работать с пластинами диаметром 127 мм, а также создавать фотошаблоны размером 5 дюймов. Система фотолитографии подходит для работы при создании фильтров на ПАВ, микросборок, микрофлюидики и других областях науки и производства.
Программное обеспечение позволяет реализовать литографию и контролировать процесс, задавая нужные параметры и требования. Пунктами ниже показаны основные характеристики системы лазерной литографии. Система литографии позволяет сохранять изображения и данные в известных форматах и разрешениях. Благодаря моторизованному предметному столику у пользователя появляется возможность задать параметры процесса и контролировать литографию.
Параметр |
Значение |
Минимальный размер |
1,5 микрон |
Размер пластины |
Максимальный диаметр 127 мм |
Источник света |
Светодиод с длиной волны 385 нм |
Питание |
1 фаза, 100-240В, до 1,5кВт |
Размер экспонируемой области |
110 мм × 110 мм |
Скорость письма |
220 мм²/мин |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить установку безмасковой литографии, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.