Существует два вида оборудования, обычно используемого в лаборатории для сушки фоторезистов: печи или нагревательные плиты. Стадия предварительной сушки фоторезиста является критической стадией фотолитографии, поскольку она позволяет испарение растворителей фоторезиста, достаточное для отверждения фоторезиста (фракция 7% растворителя является хорошим значением для успешного воздействия). Термоплитка для сушки фоторезиста идеальный инструмент и помощник в процессе литографии.
Бюджетная термоплитка для сушки фоторезиста позволяет провести процесс сушки в несколько минут, благодаря специальному цифровому табло с температурой. У пользователя появляется возможность выставить температуру, исходя из своих задач. Термоплитка позволяет работать в диапазоне температур до 350 градусов Цельсия и регулировать мощность нагрева. В качестве опции имеется возможность установки защитной крышки, а также установка микропинов для поднятия и снятия пластины после и до процесса сушки фоторезиста. На фото снизу указано пример термоплитки для сушки фоторезиста с защитной крышкой.
Параметр |
Значение |
Размер пластин | 76, 100, 150, 200 мм в диаметре |
Температура, С˚ | до 350 |
Равномерность, С˚ | ±1,5 |
Область нагрев. поверхности, мм | 200 х 200 |
Мощность, Вт | 750 |
Габариты | 200 x 200 x 170 |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить термоплитку для сушки фоторезиста, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.