Нагревательный столик для сушки фоторезиста
Представляем на рассмотрение нагревательный столик для сушки фоторезиста модели YS 450 SL+, который позволяет работать с большими пластинами до 450 мм. Нагревательный столик имеет антикоррозийное покрытие и подъемный механизм для более равномерного нагрева в процессе сушки фоторезиста и удобства оператора на участке фотолитографии.
Особенности нагревательного столика для сушки фоторезиста
Отличительной особенностью нагревательной термоплитки модели YS 450 SL является рабочая поверхность прибора, которая составляет 450 х 450 мм. Столик имеет настольное исполнение и не занимает много места. Термоплитка уже оснащена микроконтроллером для работы с различными рецептами по температуре и времени. В любой момент процесса имеется возможность поменять ручной и автоматический режим при работе с пластиной во время сушки фоторезиста.
Технические характеристики нагревательного столика для сушки фоторезиста
|
Параметр |
Значение |
| Размер пластин | 150, 200, 300 и 450 мм в диаметре |
| Температура, С˚ | до 350 |
| Равномерность, С˚ | ±1,5 |
| Область нагрев. поверхности, мм | 400 х 400 |
| Мощность, Вт | 3000 |
| Габариты | 450 x 450 x 170 |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить нагревательный столик для сушки фоторезиста, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.