Напольная диффузионная печь PEO 604

Отличительной особенностью печи для диффузии PEO 604 является то, что она имеет возможность загрузки 300 мм пластин в количестве 30 штук. Данная печь подходит для больших производств и крупных центров микроэлектроники. Диффузионная печь выполнена в напольном исполнении с выносным управлением. 

Процессы диффузионной печи

Применение напольных печей модели PEO-604 имеет большое и широкое применение и они могут использоваться в различных процессах. 

Основные процессы, которые можно реализовать в печи PEO 604:
— CVD (химическое осаждение из газовой фазы)
— PVD (напыление конденсацией из газовой фазы)
— LPCVD (химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении)
— MOCVD метод (CVD-процесс, использующий металлоорганические прекурсоры)
— Спекание нитрида кремния Si3N4, получение поликремния, спекание керамики
— Получение тетраэтоксисилана (C2H5O)4Si
— Эпитаксия кремния Si
— LTO процесс (Low Temperature Oxide) низкотемпературный оксид
— Постимплантационный отжиг

Чтобы получить коммерческое предложение и купить напольную диффузионную печь, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.