Центрифуга для нанесения фоторезиста

Рады предложить центрифугу для нанесения фоторезиста и других тонких пленок. Известно, что метод центрифугирования оптимально подходит для нанесения фоторезистивных слоев и компаундов. Центрифуга имеет сенсорный цветной экран, на котором отражаются основные параметры процесса.

Центрифуга для нанесения фоторезиста в комплекте

В комплекте к центрифуге нанесения фоторезиста идет прозрачная крышка, благодаря которой оператор может наблюдать за процессом нанесения. Нанесение фоторезиста может производится как в ручную, так и с помощью дозатора. В случае центрифуги для нанесения с дозатором, на крышке возможно изготовление отверстия для подачи фоторезиста. Петли на крышке центрифуги позволяют установить прочное крепление и минимизировать потери фоторезиста при проведении процесса нанесения. В чаше установлено специальное отверстие для слива фоторезиста позволяющее минимизировать потери.

Центрифуга для нанесения фоторезиста с дозатором

Как говорилось ранее в случае центрифуги для нанесения с дозатором, на крышке возможно изготовление отверстия для подачи фоторезиста. На фото ниже показана комплектация центрифуги с дозатором, подача фоторезиста происходит с помощью перистальтического насоса от той же компании производителя. Насосы имеют цифровой дисплей позволяющий контролировать дозу и подачу фоторезиста на центрифугу. У пользователя имеется возможность выбора различных перистальтических насосов с разными режимами управления потоком фоторезиста.

Центрифуга для нанесения фоторезиста на пластины

Центрифуга для нанесения фоторезиста позволяет наносить слои на полупроводниковые пластины 100, 200 и 300 мм. Модельный ряд установок для нанесения фоторезиста имеет различные скорости вращения ротора с вакуумным держателем пластины от 20 до 12000 об/мин. Удобный и понятный интерфейс позволяет производить нанесение фоторезиста с заданными параметрами. Управление центрифугой для нанесения возможно с помощью специального контактной указки и позволяет не испортить экран фоторезистом.

Центрифуга для нанесения фоторезиста с отверстием

В комплекте к центрифуге нанесения фоторезиста идет прозрачная крышка, благодаря которой оператор может наблюдать за процессом нанесения. Нанесение фоторезиста может производится как в ручную, так и с помощью дозатора. В случае центрифуги для нанесения с дозатором, на крышке возможно изготовление отверстия для подачи фоторезиста. Петли на крышке центрифуги позволяют установить прочное крепление и минимизировать потери фоторезиста при проведении процесса нанесения.

Центрифуга для нанесения фоторезиста с различными скоростями вращения

Модельный ряд центрифуг для нанесения фоторезиста серии ASC имеет три модели оборудования. Основные отличия между центрифугами это различные размеры пластин и скорость вращения 8 000, 10 000 и 12 000 об/мин соответственно. Центрифуги имеют прочный корпус и выполнены в различных конфигурациях, исходя из конструкции и задач. Для пользователя доступны модели центрифуг ASC 100, ASC 200 и ASC 300, которые могут работать с пластинами от 100 мм и выше, соответственно по цифре в наименовании.

Центрифуга для нанесения фоторезиста в новом дизайне

С 2024 года изменился дизайн центрифуг для нанесения фоторезиста модельного ряда ASC. Изменилась передняя панель сенсорного дисплея, которая стала больше и позволяет точнее выполнять рецептурные операции. Также в дизайне поменялся диаметр чаши и конструкция самого корпуса, он стал больше и эргономичнее. Цветовая гамма линейки центрифуг для нанесения фоторезиста также претерпела изменения и приобрела вместо серебристого синий оттенок.

Тех. характеристики центрифуги для нанесения фоторезиста:

Чтобы получить коммерческое предложение и купить центрифугу для нанесения фоторезиста, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.