Центрифуга для нанесения фоторезиста серии SC-80R позволяет работать с пластинами размером от полудюйма до четырех (150 мм). Центрифуга для нанесения фоторезиста имеет цельный корпус, который имеет защитную оболочку от коррозии. Удобный панель управления, позволяет наносить фоторезист максимально равномерно и в кротчайшее время.
Центрифуга для нанесения тонких пленок позволяет создавать слои в кротчайшие сроки. В комплекте поставки возможна поставка различных держателей в том числе для кусочков до круглых целых пластин. Благодаря передней панели с различными системами управления и индикаторами, возможен контроль процесса центрифугирования, а также показание основных характеристик, такие как скорость и уровень вакуума. В комплекте к центрифуге также идет вакуумный насос, а также инструкция для работы на установке.
Особенностью центрифуги для нанесения тонких пленок модели SC-80R + М от тайваньского производителя компании YOTEC является широкий перечень универсальных держателей. Для заказчиков, занимающихся микроэлектроникой и созданием электронных приборов, доступны универсальные вакуумные держатели выполненные из металла или плотного полиэтилена. На выбор могут быть заказаны вакуумные держатели для круглых и прямоугольных образцов (пластины и подложки).
Центрифуга имеет ручное управление и позволяет работать даже неподготовленному специалисту с фоторезистом. Процесс центрифугирования является одним из оптимальных способов нанесения тонких пленок материалов покрытия на подложки. Обычно небольшое количество материала покрытия наносят на центр подложки, а затем его вращают с высокой скоростью контролируемым образом, что приводит к образованию гомогенной пленки на пластине. Специальная кнопка аварийного выключения позволяет быстро остановить процесс нанесения фоторезиста.
Стоит особо отметить конструктивную особенность центрифуг серии SC 80, которая состоит в том, что данное оборудование имеет различные размеры чаш, где находится держатель с пластиной. Для заказчиков доступны чаши диаметром 260, 280 и 320 мм, которые позволяют работать с размерами пластин 100, 150, 200 мм соответственно. Чаша уже встроена в состав центрифуги и минимизирована утечка рабочего вещества во время процесса, а прозрачная крышка позволяет полностью контролировать процесс нанесения фоторезиста.
Модель центрифуги |
Скорость вращения |
Размер чаши, мм |
Пластины |
Габариты |
SC-80R+M |
от 300 до 8000 об/мин |
280 |
от 1/2 до 6 дюймов |
360 х 460 х 310 |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить центрифугу для нанесения фоторезиста, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.