Центрифуга для нанесения фоторезиста ASC 80A

Бюджетная центрифуга нанесения фоторезиста, созданная для исследовательских учреждений, лабораторий микроэлектроники и других мелкосерийных производств. Центрифуга для нанесения фоторезиста ASC-80 будет полезна при литографии и нанесении тонких пленок, когда требуется простой и удобный инструмент при ограниченном бюджете. Несмотря на простое исполнение, центрифуга имеет высокую скорость вращения и быструю смену держателей, что делает её универсальным прибором для нанесения фоторезиста. 

Особенности центрифуги нанесения фоторезиста

Система нанесения фоторезиста позволяет наносить слои на полупроводниковые пластины 100 мм. Нанесение фоторезиста может производится как в ручную, так и с помощью дозатора. В комплекте к центрифуге нанесения фоторезиста идет прозрачная крышка, благодаря которой оператор может наблюдать за процессом нанесения.  Модельный ряд установок для нанесения фоторезиста имеет различные скорости вращения ротора с вакуумным держателем пластины от 200 до 10000 об/мин. Отличительной особенностью данной центрифуги является твердый корпус из оксида алюминия, который практически не растворим в кислотах.

Центрифуга нанесения фоторезиста с чашей

Центрифуга нанесения фоторезиста со сменной чашей упрощает процесс очистки от остатков фоторезиста и других загрязнений. Это особенно важно в условиях серийного производства, где время на обслуживание оборудования критично. Конструкция чаши позволяет быстро ее демонтировать без использования дополнительных инструментов, что минимизирует простои. Остатки фоторезиста удаляются либо механическим способом, либо с помощью промывки в специализированных растворах.

Центрифуга нанесения фоторезиста с безмасляным насосом

В комплект поставки центрифуги нанесения фоторезиста входит безмасляный вакуумный насос, который крепится на присоски и обеспечивает стабильное удержание подложки на платформе даже при работе на максимальных оборотах (до 10 000 об/мин). Этот насос исключает риск загрязнения производства масляными испарениями, что особенно важно в чистых помещениях класса ISO 5 и выше. Насос работает практически бесшумно (уровень шума не превышает 55 дБ) и не требует постоянного обслуживания, так как в его конструкции отсутствуют трущиеся детали, нуждающиеся в смазке.

Центрифуга нанесения фоторезиста в комплекте

В комплект поставки данной модели входит вакуумный безмасляный насос, три вакуумных держателя, шомпол для очистки вакуумного канала, подробная инструкция по эксплуатации и сертификат соответствия российским стандартам качества. Вакуумный безмасляный насос, входящий в комплект поставки, является неотъемлемой частью системы фиксации подложки и обеспечивает надежное удержание даже при максимальных оборотах центрифуги. Шомпол для очистки вакуумного канала представляет собой приспособление из нержавеющей стали, позволяющее оперативно удалять возможные загрязнения из вакуумной системы без необходимости ее полной разборки.

Держатели центрифуги нанесения фоторезиста

Для заказчиков доступны различные вакуумные и универсальные держатели для работы с различными образцами. Держатели могут быть выполнены из различных материалов, такие как полипропилен, нержавеющая сталь или химстойкий пластик. При поставке центрифуги нанесения фоторезиста держатели могут быть оснащены дополнительным страховочным винтом, который имеет сквозное отверстие для вакуума и позволяет закрепить столик с максимальной надежностью.

Комплектация центрифуги нанесения фоторезиста

Базовая комплектация центрифуги нанесения фоторезиста состоит из самой установки со съемной чашей, вакуумный насос, соединительная трубка и комплект из трех держателей. Поставка может быть доукомплектована дополнительными держателями для работы с различными образцами и структурами. Например для работы с предметными стеклами, фольгой или керамикой, возможна доукомплектование безвакуумными держателями так как это позволит не деформировать образец от прижима.

Тех. характеристики центрифуги нанесения фоторезиста:

Чтобы получить коммерческое предложение и купить центрифугу для нанесения фоторезиста ASC 80A, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.