Центрифуга для нанесения фоторезиста ASC 200

Рады предложить настольную центрифугу для нанесения фоторезистивных пленок и различных покрытий от тайваньского производителя YOTEC Precision. Настольная центрифуга модели ASC 200 предназначена для работы с пластинами и подложками размером 200 мм в диаметре. Центрифуга для нанесения фоторезиста ASC 200 выполнена в настольном исполнении с сенсорным дисплеем и может применяться в лабораториях, цехах микроэлектроники, исследовательских центрах и мелкосерийном производстве.

Опции центрифуги для нанесения фоторезиста ASC 200

Центрифуга имеет большое количество опций, которые помогут выполнить процесс нанесения резистивных пленок и других покрытий:

Центрирующий инструмент центрифуги для нанесения фоторезиста

Центрирующий инструмент для настройки вакуумного держателя и пластины в центрифуге для равномерного нанесения фоторезиста и других тонких пленок, жидкостей и других рабочих веществ. Центрирующий инструмент позволяет установить точное позиционирование круглой пластины по центру вакуумного держателя. Данный ручной инструмент удобен при процессе литографии. Также к поставке может быть другой различный инструмент для фиксации различных держателей. 

Перистальтический насос для автоматической подачи фоторезиста

Опция для дозированной подачи фоторезиста. Перистальтический насос от тайваньского производителя YOTEC Precision Co. для автоподачи резиста и других наносящих веществ. Перистальтический насос позволяет наносить вещества дозировано и равномерно. Доступен перистальтический насос для автоматической дозированной подачи рабочего вещества модели PF102 с расходом рабочего вещества: 0,00016–570 мл/мин и перистальтический насос модели SS80 с расходом рабочего вещества: 0,005–32 мл/мин;

Вакуумные держатели центрифуги для нанесения фоторезиста

Различные вакуумные держатели (для маленьких элементов пластин, для квадратных подложек, специальный держатель на 60х48 мм). Под заказ возможно изготовление различных размеров нестандартной формы. Вакуумный держатель выполнен из алюминия и крепко фиксируется к основанию центрифуги для нанесения. Широкий выбор размеров, например: прямоугольные  и квадратные 100 х 100, 100 х 50, 50 х 50, 30 х 30, 20 х 20, 10 х 10, круглые диаметром 100, 76, 50, 30, 20, 10 мм.

Опция удаления фоторезиста и отмывки обратной стороны

Опция удаления излишков фоторезиста с края пластины и опция отмывки обратной стороны. Известная проблема метода центрифугирования нанесения фоторезиста, это скопление рабочего вещества на краях пластин. Данная опция решает эту проблему и слой становиться равномерным. Опция отмывки нижней части стороны пластины. Важно для случая при двухстороннем нанесении, когда необходима оптимальная поверхность. Данная опция позволяет обработать обратную сторону пластины и подложки. 

Тех. характеристики центрифуги для нанесения фоторезиста:

Чтобы получить коммерческое предложение и купить центрифугу для нанесения фоторезиста asc 200, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.