Спиральный насос SCR 31
Спиральный вакуумный насос SCR 31 представляет собой мощное и высокопроизводительное «сухое» (безмасляное) вакуумное оборудование, занимающее центральное место в линейке SCR и предназначенное для решения широкого круга задач, требующих сочетания высокой быстроты откачки, глубокого вакуума и чистоты рабочей среды. Модель обеспечивает быстроту откачки 31,3 м³/ч и предельное остаточное давление 0,01 мбар, что позволяет достигать уровня глубокого вакуума, достаточного для большинства промышленных и научных применений, включая работу в составе сложных вакуумных систем с турбомолекулярными насосами.
Спиральный вакуумный насос SCR 31
Максимальное входное давление спирального насоса составляет 0,1 МПа, выходное — 0,13 МПа, что гарантирует устойчивую работу насоса в широком диапазоне нагрузок и при различных режимах эксплуатации. Уровень шума спирального насоса не превышает 62 дБ — выдающийся показатель для оборудования такой производительности, который делает SCR 31 одним из самых тихих решений в своем классе, позволяя использовать его в лабораторных помещениях без дополнительной шумоизоляции.
Спиральный форвакуумный насос SCR 31
В основе работы насоса SCR 31 лежит проверенный спиральный (скролльный) принцип сжатия, реализованный без использования масла в рабочей камере, что исключает загрязнение откачиваемой среды углеводородными парами и делает насос оптимальным для применений, требующих абсолютной чистоты вакуума. Конструкция насоса состоит из двух спиралей — неподвижной и подвижной, совершающей эксцентричное движение с высокой точностью. SCR 31 является востребованным решением в передовых научных лабораториях.
Характеристики спирального насоса 31
|
Параметр |
Значение |
| Производительность спирального насоса, м³/ч | 31,3 |
|
Предельное остаточное давление, мбар |
0,01 |
| Мощность электродвигателя, кВт | 0,75 |
|
|
В высокотехнологичных отраслях, таких как полупроводниковая микроэлектроника, производство микроэлектромеханических систем (МЭМС), оптоэлектроника и фотоника, спиральный насос SCR 31 находит широкое применение в технологических процессах, требующих чистого «сухого» вакуума и высокой производительности откачки. Насос используется в установках магнетронного, электронно-лучевого и термического напыления тонких пленок, где отсутствие масляных паров критически важно для обеспечения требуемой адгезии, электрических и оптических свойств покрытий. В системах плазмохимического травления (ICP, RIE, DRIE) насос обеспечивает откачку рабочих камер, способствуя созданию необходимого газового состава и давления плазмы для высокоанизотропного травления кремния, диэлектриков и металлов. |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить спиральный насос SCR 31, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.