Фторопластовая кассета для пластин 76 мм

Фторопластовая кассета для пластин 76 мм

Рады предложить к рассмотрению фторопластовые кассеты для пластин диаметром 76 мм. Кассеты для сушки пластин диаметром 76 мм — это решение для лабораторий и производств, где требуется высокая точность, химическая стойкость и долговечность. Эти кассеты специально разработаны для сушки, хранения и обработки пластин в условиях, где обычные материалы не справляются. Благодаря уникальным свойствам тефлона (PFA/фторопласта), кассеты устойчивы к агрессивным химическим веществам, высоким температурам и механическим нагрузкам. 

Фторопластовая кассета для пластин 76 мм

Химическая стойкость фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Химическая стойкость фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Фторопластовые кассеты для пластин диаметром 76 мм представляют собой специализированное решение для высокотехнологичных производственных процессов и исследовательских лабораторий, где стандартные материалы не способны обеспечить необходимый уровень химической стойкости, термической стабильности и чистоты обработки полупроводниковых пластин. Изготовленные из высококачественного тефлона (PFA/фторопласта), эти кассеты сочетают в себе уникальные эксплуатационные характеристики.

Конструкция фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Конструкция фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Конструкция кассет оптимизирована для работы с пластинами диаметром 76 мм с точностью позиционирования ±0,05 мм, что полностью исключает возможность их контакта и взаимного повреждения в процессе обработки. Каждая ячейка кассеты имеет специальную геометрию, обеспечивающую равномерный доступ рабочих сред ко всей поверхности пластины и оптимальный дренаж жидкостей после химических обработок, что особенно важно для обеспечения однородности процессов травления и очистки.

Разработка фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Разработка фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Кассеты разработаны для эксплуатации в наиболее агрессивных химических средах, включая фторид аммония (NH4F), азотную кислоту (HNO3), фтороводород (HF), хлороводород (HCl), ортофосфорную кислоту (H3PO4), пероксид водорода (H2O2) и серную кислоту (H2SO4), что делает их незаменимыми на современных предприятиях микроэлектроники и полупроводниковой промышленности. Это обстоятельство особенно важно для кристального производства, где требуется многократное использование тары в экстремальных химических и температурных условиях.

Тефлон фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Тефлон фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

PFA (перфториалкокси) – это модифицированная версия тефлона, сочетающая в себе все преимущества PTFE с улучшенными характеристиками. Материал обладает исключительной химической стойкостью, сохраняя свои свойства даже при длительном контакте с концентрированными кислотами и щелочами при температурах до +260°C. В отличие от обычного тефлона, PFA обладает лучшей прозрачностью (что позволяет визуально контролировать состояние пластин), повышенной механической прочностью и устойчивостью. 

Проверка фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Проверка фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Каждая фторопластовая кассета для пластин 76 мм проходит многоступенчатый контроль качества, включающий: проверку размеров с точностью до 0,01 мм, тестирование на химическую стойкость в реальных рабочих средах, контроль чистоты поверхности (класс чистоты соответствует ISO Class 3), проверку на отсутствие частиц и микротрещин. Особое внимание уделяется обработке кромок и углов – все поверхности имеют плавные радиусы, исключающие повреждение пластин при загрузке/выгрузке.  

Модели фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Модели фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Базовые модели – предназначены для стандартных операций травления и очистки. Имеют классическую конструкцию с фиксированным шагом между пластинами (3, 5 или 10 мм на выбор), что обеспечивает оптимальный доступ химических реагентов ко всем поверхностям. Специальные конструкции для высокотемпературных процессов – оснащены дополнительными ребрами жесткости и термостойкими уплотнениями, позволяющими работать при температурах до 200°C в агрессивных парах. 

Характеристики фторопластовой кассеты для пластин 76 мм

Параметр 

Значение 

Размеры пластин   76 мм (3 дюйма)  
Материал фторопластовой  кассеты PFA/Тефлон  
Количество пластин   25 
Максимальная температура до 240 ℃
Рабочие среды  Фторид Амония NH4F, азотная кислота HNO3, Фтороводород HF, Хлороводород HCl, Ортофосфорная кислота H3PO4, Азотная кислота HNO3, Пероксид водорода H2O2, Серная кислота H2SO4
Опции Фторопластовая ручка, дополнительный вакуумный пакет 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить фторопластовую кассету для пластин 76 мм, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.