Рады предложить к рассмотрению фторопластовые кассеты для пластин диаметром 76 мм. Кассеты для сушки пластин диаметром 76 мм — это решение для лабораторий и производств, где требуется высокая точность, химическая стойкость и долговечность. Эти кассеты специально разработаны для сушки, хранения и обработки пластин в условиях, где обычные материалы не справляются. Благодаря уникальным свойствам тефлона (PFA/фторопласта), кассеты устойчивы к агрессивным химическим веществам, высоким температурам и механическим нагрузкам.
Фторопластовые кассеты для пластин диаметром 76 мм представляют собой специализированное решение для высокотехнологичных производственных процессов и исследовательских лабораторий, где стандартные материалы не способны обеспечить необходимый уровень химической стойкости, термической стабильности и чистоты обработки полупроводниковых пластин. Изготовленные из высококачественного тефлона (PFA/фторопласта), эти кассеты сочетают в себе уникальные эксплуатационные характеристики.
Конструкция кассет оптимизирована для работы с пластинами диаметром 76 мм с точностью позиционирования ±0,05 мм, что полностью исключает возможность их контакта и взаимного повреждения в процессе обработки. Каждая ячейка кассеты имеет специальную геометрию, обеспечивающую равномерный доступ рабочих сред ко всей поверхности пластины и оптимальный дренаж жидкостей после химических обработок, что особенно важно для обеспечения однородности процессов травления и очистки.
Кассеты разработаны для эксплуатации в наиболее агрессивных химических средах, включая фторид аммония (NH4F), азотную кислоту (HNO3), фтороводород (HF), хлороводород (HCl), ортофосфорную кислоту (H3PO4), пероксид водорода (H2O2) и серную кислоту (H2SO4), что делает их незаменимыми на современных предприятиях микроэлектроники и полупроводниковой промышленности. Это обстоятельство особенно важно для кристального производства, где требуется многократное использование тары в экстремальных химических и температурных условиях.
PFA (перфториалкокси) – это модифицированная версия тефлона, сочетающая в себе все преимущества PTFE с улучшенными характеристиками. Материал обладает исключительной химической стойкостью, сохраняя свои свойства даже при длительном контакте с концентрированными кислотами и щелочами при температурах до +260°C. В отличие от обычного тефлона, PFA обладает лучшей прозрачностью (что позволяет визуально контролировать состояние пластин), повышенной механической прочностью и устойчивостью.
Каждая фторопластовая кассета для пластин 76 мм проходит многоступенчатый контроль качества, включающий: проверку размеров с точностью до 0,01 мм, тестирование на химическую стойкость в реальных рабочих средах, контроль чистоты поверхности (класс чистоты соответствует ISO Class 3), проверку на отсутствие частиц и микротрещин. Особое внимание уделяется обработке кромок и углов – все поверхности имеют плавные радиусы, исключающие повреждение пластин при загрузке/выгрузке.
Базовые модели – предназначены для стандартных операций травления и очистки. Имеют классическую конструкцию с фиксированным шагом между пластинами (3, 5 или 10 мм на выбор), что обеспечивает оптимальный доступ химических реагентов ко всем поверхностям. Специальные конструкции для высокотемпературных процессов – оснащены дополнительными ребрами жесткости и термостойкими уплотнениями, позволяющими работать при температурах до 200°C в агрессивных парах.
Параметр |
Значение |
Размеры пластин | 76 мм (3 дюйма) |
Материал фторопластовой кассеты | PFA/Тефлон |
Количество пластин | 25 |
Максимальная температура | до 240 ℃ |
Рабочие среды | Фторид Амония NH4F, азотная кислота HNO3, Фтороводород HF, Хлороводород HCl, Ортофосфорная кислота H3PO4, Азотная кислота HNO3, Пероксид водорода H2O2, Серная кислота H2SO4 |
Опции | Фторопластовая ручка, дополнительный вакуумный пакет |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить фторопластовую кассету для пластин 76 мм, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.