Предлагаем к поставке фторопластовые тефлоновые PFA кассеты для пластин 150 мм. PFA (перфторалкоксильный сополимер) — это высокотехнологичный материал, который сочетает в себе уникальные свойства фторопластов и термопластов. Благодаря своей исключительной химической стойкости, термоустойчивости и механической прочности, PFA широко используется в самых разных отраслях, включая химическую промышленность и электронику. Возможно изготовление кассет под Ваши нужды, включая изменение размеров и других параметров.
Термическая стабильность PFA позволяет кассетам сохранять свои эксплуатационные характеристики при постоянной работе в диапазоне температур от -200°C до +260°C (с кратковременными пиками до +300°C), что делает их незаменимыми для процессов высокотемпературной сушки, стерилизации паром, термического отжига и других видов тепловой обработки, где обычные пластиковые конструкции теряют форму и свойства. Прочность PFA гарантируют многолетнюю эксплуатацию кассет даже в условиях интенсивного использования.
Гладкая непористая поверхность PFA с крайне низкой адгезией предотвращает накопление частиц и остатков технологических сред, существенно упрощая процедуры очистки между производственными циклами и снижая риск перекрестной контаминации при обработке разных партий материалов. Конструкция кассет предусматривает равномерный доступ рабочих сред ко всем поверхностям пластин и эффективный дренаж жидкостей после химических обработок, что обеспечивает исключительную однородность процессов травления.
Фторопласт PFA представляет собой продукт, полученный путем полимеризации, который обладает рядом уникальных свойств, делающих его идеальным для использования в кристальном производстве. Среди ключевых характеристик этого материала следует выделить химическую стойкость к большинству агрессивных сред, низкий коэффициент трения, широкий интервал рабочих температур от -269° до +260°С и низкую теплопроводность. Этот оптимальный набор свойств позволяет использовать PFA кассеты в самых сложных производственных условиях.
Химическая стойкость PFA кассет находится на высоком уровне, что подтверждено многолетним опытом их применения в самых требовательных производственных процессах. Особое значение имеет их устойчивость к таким реактивам как фторид аммония (NH4F) и азотная кислота (HNO3), которые широко используются в процессах травления и очистки полупроводниковых пластин. Фторид аммония является одним из ключевых компонентов в процессах травления кремния, а азотная кислота активно применяется для очистки поверхностей и удаления загрязнений.
Механические свойства фторопластовых кассет обеспечивают их длительную и надежную эксплуатацию даже в условиях интенсивного производственного использования. Низкий коэффициент трения материала (один из самых низких среди всех известных материалов) значительно облегчает процесс загрузки и извлечения пластин, минимизируя риск их повреждения, что особенно критично при работе с хрупкими полупроводниковыми материалами. Это свойство также предотвращает налипание частиц и загрязнений на поверхность кассет.
Конструктивные особенности кассет для пластин диаметром 150 мм разработаны с учетом всех требований современного кристального производства. Оптимальная геометрия ячеек обеспечивает надежную фиксацию пластин при их обработке, исключая возможность их смещения или повреждения в процессе технологических операций. Все элементы кассет изготовлены с высочайшей точностью (допуски не превышают 0,1 мм), что гарантирует их оптимальную совместимость с другим производственным оборудованием.
Параметр |
Значение |
Размеры пластин | 150 мм (6 дюймов) |
Материал фторопластовой кассеты | PFA/Тефлон |
Количество пластин | 25 |
Максимальная температура | до 240 ℃ |
Рабочие среды | Фторид Амония NH4F, азотная кислота HNO3, Фтороводород HF, Хлороводород HCl, Ортофосфорная кислота H3PO4, Азотная кислота HNO3, Пероксид водорода H2O2, Серная кислота H2SO4 |
Опции | Фторопластовая ручка, дополнительный вакуумный пакет |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить фторопластовую тефлоновую PFA кассету для пластин 150 мм, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.