Фторопластовая PFA кассета для пластин 100 мм

Фторопластовая PFA кассета для пластин 100 мм

Предлагаем к рассмотрению фторопластовые PFA кассеты для работы с пластинами диаметром 100 мм. Материал не вступает в реакцию с образцами, что исключает риск загрязнения и обеспечивает точность результатов. Фторопластовые кассеты выдерживают температуры до 200–220 °C, что делает их оптимальными для процессов сушки, стерилизации и термической обработки. Благодаря низкому коэффициенту трения, полупроводниковые пластины легко извлекаются из кассет, что минимизирует риск повреждения.

Фторопластовая PFA кассета для пластин 100 мм

Коэффициент трения фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Коэффициент трения фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Низкий коэффициент трения фторопласта предотвращает образование микроцарапин на чувствительных поверхностях пластин при их загрузке и выгрузке, а антиадгезионные свойства материала существенно снижают риск контаминации частицами и облегчают процедуры очистки между технологическими циклами. Прочность и износостойкость фторопласта гарантируют длительный срок службы кассет даже в условиях интенсивной эксплуатации, включая многократные циклы химической обработки, стерилизации и механических нагрузок.

Изготовление фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Изготовление фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Материал не подвержен старению, не выделяет летучих соединений и сохраняет свои свойства в течение всего периода эксплуатации, что делает его оптимальным для использования в чистых помещениях высокого класса. Кассеты могут быть изготовлены в различных модификациях – стандартные варианты предусматривают 25 посадочных мест для пластин, однако возможны индивидуальные решения с измененным количеством ячеек и конфигурацией в зависимости от конкретных технологических задач.

Коррозия фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Коррозия фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

При этом материал не выделяет каких-либо примесей в технологические растворы, что критически важно для поддержания чистоты процессов. Удельное сопротивление PFA остается на уровне 10^18 Ом·см даже после длительного контакта с агрессивными средами, что исключает риск электрохимической коррозии. Химическая стойкость нашей PFA тары подтверждена лабораторными испытаниями в следующей среде: фторид аммония (NH4F) – кассеты выдерживают 40% раствор при 80°C в течение 500 часов без изменения механических свойств.

Эксплуатация фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Эксплуатация фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Наша тара разработана для эксплуатации в наиболее агрессивных химических средах, включая фторид аммония (NH4F), азотную кислоту (HNO3), фтороводород (HF), хлороводород (HCl), ортофосфорную кислоту (H3PO4), пероксид водорода (H2O2) и серную кислоту (H2SO4), что делает ее незаменимой на современных предприятиях микроэлектроники и полупроводниковой промышленности. PFA (перфториалкокси) – это модифицированная версия тефлона, сочетающая в себе все преимущества PTFE с улучшенными характеристиками.

Стойкость фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Стойкость фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Химическая стойкость фторопластовой PFA кассеты сохраняется даже при длительном контакте с концентрированными кислотами и щелочами при температурах до +260°C, повышенная механическая прочность и устойчивость к растрескиванию под напряжением, а также лучшая прозрачность по сравнению с обычным тефлоном, что позволяет визуально контролировать состояние пластин непосредственно в процессе обработки. Перед отправкой заказчику PFA кассета проходит визуальный контроль на предприятии. 

Покупка фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Покупка фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

На складе нашей компании на постоянной основе имеется PFA кассеты для работы в агрессивных средах. Возможна поставка от 1 штуки. Перед заказом необходимо уточнить среду в которой Вы работаете, а также максимальную температуру, которую должна выдержать химстойкая кассета. Все кассеты поставляются в вакуумной упаковке и позволяют минимизировать повреждения при транспортировке. Доступна отгрузка PFA кассет как на условиях самовывоза, так и на условиях доставки до двери. 

Характеристики фторопластовой PFA кассеты для пластин 100 мм

Параметр 

Значение 

Размер пластин, мм 100
Рабочие среды Фторид Амония NH4F, азотная кислота HNO3, Фтороводород HF, Хлороводород HCl, Ортофосфорная кислота H3PO4, Азотная кислота HNO3, Пероксид водорода H2O2, Серная кислота H2SO4
Материал PFA/Тефлон

Кассеты для пластин 100 мм представляют собой наиболее универсальный и востребованный размер в микроэлектронике. Их конструкция оптимизирована для автоматической загрузки и выгрузки в стандартных технологических модулях, при этом пазы точно фиксируют пластины, предотвращая их смещение даже в условиях интенсивной циркуляции кислот. Материал PFA гарантирует, что ни горячая серная кислота, ни агрессивная смесь Каро, ни фтороводород не повлияют на механические свойства кассеты, а при работе с аммиачно-перекисным раствором при 75 °C поверхность остается идеально чистой. 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить фторопластовую PFA кассету для пластин 100 мм, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.