Пинцеты для пластин 300 мм WT30
Рады предложить пинцет для кремниевых пластин диаметром 300 мм из PEEK (полиэфирэфиркетон). Щипковые пинцеты из PEEK остаются востребованным инструментом для узкого, но критически важного круга задач: инспекция под микроскопом, ручное позиционирование на этапах тестирования, обслуживание и калибровка оборудования, а также аварийное извлечение пластин при сбоях автоматики. Именно в этих ситуациях, где вакуумный захват неприменим из-за отсутствия стабильного разрежения или ограниченного доступа, механический пинцет становится единственным средством безопасной интервенции.
Пинцеты щипковые для 12 дюймовых пластин
Вес 12 дюймовой пластины достигает 100–120 г, что в два с лишним раза превышает массу 200-мм подложки, а увеличенный диаметр создаёт значительный рычаг при захвате за край. Пинцеты для этого формата разрабатываются с усиленным корпусом из высокопрочного PEEK, армированного стекловолокном или углеродным волокном, что повышает жёсткость на изгиб без увеличения веса инструмента. Губки имеют длину до 80–90 мм и оснащены дополнительными рёбрами жёсткости, предотвращающими их деформацию при захвате тяжёлой пластины.
Пинцеты из полиэфирэфиркетона для полупроводниковых пластин 300 мм
Для 300-мм производства, где критические размеры транзисторов уже перешли за 7 нм, выделение даже единичных частиц размером >0,05 мкм недопустимо. Поэтому пинцеты из полиэфирэфиркетона для этого формата проходят многоступенчатую финишную обработку: лазерную полировку рабочих поверхностей, ультразвуковую очистку в деионизованной воде и финальную сушку в среде азота. Материал должен иметь сверхнизкое газовыделение — по стандартам SEMI F57 — и быть сертифицирован для чистых помещений класса ISO 3 (оборудование класса 1).
Покупка щипковых пинцетов PEEK для пластин 300 мм
Приобрести щипковые пинцеты из PEEK для пластин 300 мм можно у нашей компании МИВАТЭК. Мы предоставляем полный пакет документации для работы в чистых помещениях, а также гарантируем стабильность геометрии губок в пределах ±50 мкм на протяжении всего срока службы. Благодаря продуманной конструкции и высококачественным материалам, эти щипковые пинцеты PEEK (полиэфирэфиркетон) остаются надёжным страховочным инструментом даже на самых передовых полупроводниковых заводах.
Характеристики пинцетов для пластин 300 мм WT30
|
Параметр |
Значение |
| Размер пластин, мм | 300 мм |
| Применение | Фотоника, микроэлектроника, оптоэлектроника, полупроводниковое производство |
| Материал | PEEK |
|
|
На автоматизированных линиях щипковые пинцеты активно используются на постах макро-визуального контроля после ключевых операций (фотолитография, травление, CMP). Оператор, вооружённый PEEK-пинцетом, может вручную извлечь пластину из кассеты, осмотреть её под настольным микроскопом и вернуть обратно, не нарушая маршрутную карту. Кроме того, они необходимы при ручной установке пластин в измерительные системы (эллипсометры, спектрофотометры), где автоматическая загрузка не предусмотрена или неудобна. В R&D-центрах и пилотных линиях, где 300-мм пластины обрабатываются по экспериментальным рецептам, механические пинцеты становятся основным инструментом манипуляции, так как автоматизация часто ещё не настроена. |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить пинцеты для пластин 300 мм WT30, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.