Настольная система безмасковой литографии

Настольная система безмасковой литографии

Среди различных методов нанесения структуры на поверхность пластин, безмасковая литография занимает первое место. Это связано с тем, что данный метод имеет ряд преимуществ. К наиболее важным относится то, что отпадает необходимость в покупке фотошаблонов. Рады предложить Вам настольную литографическую систему PALET, которая позволяет быстро и без лишних затрат производить нанесение топологии на пластину. Данный генератор изображений выполнен из современных материалов и собран опытными японскими инженерами по лазерной техники. Данное оборудование по литографии объединило в себе японские технологии и многолетний опыт специалистов оптики. Программное обеспечение позволит в несколько шагов провести процесс нанесения рисунка и обработать результат в высоком разрешении. Установка безмасковой литографии Palet позволит Вам избавиться от покупки фотошаблонов.

Настольная система безмасковой литографии

Особенности настольной системы безмасковой литографии

Особенности данных установок это габариты, которые очень малы и позволяют её установить в любой лаборатории тонкопленочной технологии или на производстве гибридных микросборок. Далее показаны пластины, которые были проэкспонированы на системе PALET. Показаны фотошаблоны с различной шириной линии (3 и 5 микрон) при использовании фоторезиста AZP 1350. Как можно видеть возможно изготовление трехмерных и периодических структур на фоторезисте SU-8, а также создание магнитных гироскопов и микроканальных пластин. 

Примеры литографии

Как можно видеть возможно изготовление трехмерных и периодических структур на фоторезисте SU-8, а также создание магнитных гироскопов и микроканальных пластин. 

Экспонирование пластина

В общей линейке систем PALET, они представлены четырьмя моделями. Данные модели безмасковой литографии могут быть подобраны, исходя из технических задач пользователя. Ниже показаны основные характеристики и модельный ряд систем PALET: 

Тех характеристики настольной системы безмасковой литографии

Модель DDB-701-MS 

Модель DDB-701-DL 

Параметр 

Значение 

Предметный столик 

Ручной X Y Z Θ 

Моторизованный X Y Z Θ 

Размер пластины 

Максимальный диаметр 60 мм, толщина 3 мм 

Источник света 

Светодиод с длиной волны 365 нм 

Питание 

1 фаза, 100-240В, до 1,5кВт 

Размер экспонируемой области 

25 мм × 25 мм 

Формат данных 

JPEG, PNG, BITMAP, PowerPoint, DXF 

Габариты  

300 мм х 450 мм х 450 мм 

Вес 

30 кг 

 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить настольную систему безмасковой литографии, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.