Термостолик для сушки и термодубления фоторезиста EMS 1000-3

Термостолик для сушки и термодубления фоторезиста EMS 1000-3

Термостолик для сушки фоторезиста EMS 1000-3 одна из самых популярных моделей среди инструментов компании Electronic Micro Systems Ltd. Как и все остальные системы сушки фоторезиста имеет малые габаритные размеры и защитную крышку для безопасной работы технолога. Отличительной особенностью является саморегулирующиеся держатели, которые поднимаются и опускаются в начале и в конце процесса сушки соответственно. Это особенно актуально для технологов литографии, которым необходимо нанести резистивную пленку с двух сторон пластины и позволяет  тем самым не размазывать материал от держателя снизу. В каждую систему дубления резистивных пленок также встроено цифровое табло, показывающее градусы по Цельсию (Фаренгейтах) и имеется кнопка аварийного выключения. 

Термостолик для сушки фоторезиста   

Технические характеристики термостолика для сушки и термодубления фоторезиста EMS 1000-3:

— Размер пластин: от 10 до 150 мм (круглые); 10х10 мм, 24×30 мм, 48×60 мм, 100х100 мм (прямоугольные)
— Температурный диапазон: от 0 до 150 °C (опционально 250 °C)
— Точность по температуре: 0,1 °C 
— Неоднородность: ±1 %
— Габаритные размеры: 350 (Ш) × 285 (Г) × 100 (В) мм

Чтобы получить коммерческое предложение и купить термостолик для сушки и термодубления фоторезиста, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.