Измеритель поверхностного сопротивления пленок

Измеритель поверхностного сопротивления пленок с ручным манипулятором

Измерительная система ВИК-УЭС с возможностью перемещения зондовой головы по Z, позволяет работать как со слитками полупроводников, так и с пластинами с нанесенным полупроводниковым слоем. Измеритель поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модели ВИК-УЭС работает практически со всеми размерами пластин: 60х48, 50х50 мм, ∅ 100 мм, ∅ 150 мм, ∅ 200 мм, ∅ 300 мм. Установка четырехзондового измерения оснащена зондом с ручным манипулятором по оси Z. Измеритель поверхностного сопротивления пленок ВИК УЭС, также имеет специальный универсальный держатель для всех типов образцов, что позволяет производить многократные измерения, не беспокоясь о том, что образец поменял положение.

Установка измерения сопротивления четырехзондовым методом   

В комплект входит компьютер со специальным программным обеспечением, принтер. Данный прибор уже поставлен во многие предприятия микроэлектроники и научные учреждения и имеется возможность посмотреть его в работе на образцах заказчика. При желании заказчика прибор для измерения поверхностного сопротивления пленок четырехзондовым методом модели ВИК УЭС вносится в ГосРеестр. К установке измерения электросопротивления также может входить сертификат калибровки средства измерений.    

Сертификат калибровки    

Основные пленки и образцы на которых возможно измерение удельного и поверхностного сопротивления:
— полупроводниковые материалы (арсенид галлия GaAs, нитрид галлия GaN и другие)
— резистивные и металлические пленки (хром, медь и другие)
— слитки монокристаллического кремния
— эпитаксиальные слои
— наноматериалы
— основные варианты кремниевых эпитаксиальных структур и номиналы удельного сопротивления чистой подложки — разбраковка перед запуском подложки на маршрут.

Тех. характеристики измерителя поверхностного сопротивления пленок модели ВИК-УЭС:

Параметр 

Значение 

Измерительный ток, А  2х10⁻⁷- 10⁻¹ 
Измерительное сопротивление, Ом  10⁻³-2х10⁵ 
Поверхностное сопротивление, Ом  10⁻²-10⁻⁶ 
Диаметр пластин, мм  20  — 300 

Видеопрезентация измерителя поверхностного сопротивления пленок ВИК-УЭС. Первое, что надо отметить, четырехзондовый метод входит в систему международных стандартов полупроводниковой отрасли и представлен там пятью стандартами. Удельное электросопротивление главный марочный параметр полупроводника и установки необходимы на всех этапах технологического процесса получения микроэлектронных приборов — от выпуска слитков полупроводникового материала до создания структур на нем. Этим методом можно измерить сопротивление как слитков, так и основного элемента производства приборов — пластин. Метод относится к числу неразрушающих, не требует специальной подготовки образцов, высокопроизводителен и точен.

 

Чтобы получить коммерческое предложение и купить измеритель поверхностного сопротивления пленок, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.