Диффузионные печи

Диффузионные печи

Диффузионные печи ATV

Предлагаем рассмотреть диффузионные печи от компании ATV Technologie GmbH. Данные печи для диффузии уже поставлены на предприятия микроэлектроники и научные центры. Линейка печей представлена тремя моделями: настольная диффузионная печь PEO 601, напольная печь PEO 603, диффузионная печь PEO 604. Печи имеют различную загрузку пластин, от  40 пластин диаметром 100 мм до 30 подложек диаметром 300 мм. Печи могут применяться как при мелкосерийном производстве, так и в больших производственных площадках.  

Настольная диффузионная печь PEO 601

Настольная диффузионная печь


С 1982 года компания ATV выпускает многоцелевые диффузионные печи PEO серии с одной кварцевой трубкой. Первоначально печь для диффузии была разработана для обжига толстой пленки и была усовершенствована с добавлением большого количества новых процессов. Печи серии PEO могут применяться в сегменте полупроводникового рынка и химической промышленности. Эта многофункциональная настольная печь имеет несколько ключевых особенностей и может обрабатывать пластины до 100 мм. Подробнее по ссылке.

Диффузионная печь PEO 603   

Диффузионная печь ATV

Диффузионная печь имеет напольное исполнение и оснащена колесами для оптимальной интеграции в производство. Помимо преимуществ экономии пространства, PEO-603 также имеют нулевое потребление энергии в режиме ожидания. Печь для диффузии PEO 603 подходит для исследований и разработок. Для достижения оптимальной равномерности температуры в печах ATV используются 14 нагревательных элементов Kanthal, которые контролируются регулятором. Блок контроля и управления вынесен за пределы установки. Подробнее по ссылке.

Напольная диффузионная печь PEO 604

Печь для диффузии

Отличительной особенностью печи для диффузии PEO 604 является то, что она имеет возможность загрузки 300 мм пластин в количестве 30 штук. Данная печь подходит для больших производств и крупных центров микроэлектроники. Диффузионная печь выполнена в напольном исполнении с выносным управлением. Диффузионная печь PEO 604 возможно применять в следующих процессах: влажное и сухое окисление, эпитаксия кремния, CVD, PVD, LPCVD, MOCVD, отжиг, спекание, получения сплавов SiAu, SiAl, SiMo. Подробнее по ссылке.

Чтобы получить коммерческое предложение и купить диффузионную печь, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.