Автоматический измеритель поверхностного сопротивления пленок
Измерительная система ВИК-УЭС с возможностью автоматического перемещения зондовой головы по Z, позволяет работать как со слитками полупроводников, так и с пластинами с нанесенным полупроводниковым слоем. В комплект входит компьютер со специальным программным обеспечением, принтер. Программное обеспечение установки позволяет проводить в автоматическом режиме: проверку точности и работоспособности электрической части установки с помощью аналоговой схемы; расчет удельного электрического сопротивления с учетом поправок на толщину и диаметр измеряемой пластины, а также температуру измерения в соответствии со стандартами ГОСТ 24392-80, ASTM F-43-94, ASTM F-84, ASTM F-81, ASTM F-1527, ASTM F 374; проверку работоспособности электрической части установки по внутреннему эквиваленту; автоматическую настройку электрической части установки по внешней аналоговой схеме. При желании заказчика прибор для измерения поверхностного сопротивления модели ВИК-УЭС вносится в ГосРеестр.
В комплект входит компьютер со специальным программным обеспечением, принтер. Данный прибор уже поставлен во многие предприятия микроэлектроники и научные учреждения и имеется возможность посмотреть его в работе на образцах заказчика. При желании заказчика прибор для измерения поверхностного сопротивления пленок модели ВИК-УЭС вносится в ГосРеестр. К установке измерения электросопротивления также может входить сертификат калибровки средства измерений. Также благодаря мощному программному обеспечению имеется возможность построения 3D карт (функция mapping) и позволяет сохранять данные для дальнейшей обработки измерений удельного сопротивления пленок.
Тех. характеристики автоматической системы для измерения поверхностного сопротивления модели ВИК-УЭС:
|
Параметр |
Значение |
| Измерительный ток, А | 2х10⁻⁷- 10⁻¹ |
| Измерительное сопротивление, Ом | 10⁻³-2х10⁵ |
| Поверхностное сопротивление, Ом | 10⁻²-10⁻⁶ |
| Диаметр пластин, мм | 20 — 300 |
| Толщина пластин, мкм | до 20000 |
Чтобы получить коммерческое предложение и купить автоматическую систему для измерения поверхностного сопротивления пленок, отправьте заявку на наш электронный адрес info@mivatek.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.